Occasion ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 SE #9296962 à vendre en France

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SE est un graveur/asher avancé pour l'industrie des semi-conducteurs. Il fournit une solution intégrée et rentable pour les applications de gravure à sec dans un large éventail de domaines de processus. ADIXEN AMS 200 SE etcher/asher est équipé d'une chambre de processus horizontale (HPC) entièrement programmable et d'un transfert latéral de plaquettes (LWST). Le HPC est conçu pour fournir une gamme de solutions de processus incluant la gravure, l'ashing, la pré-gravure et l'implantation ionique. La chambre assure également une protection contre les matériaux conducteurs et corrosifs. Le LWST assure un transfert précis, répétable et à basse pression des substrats et des plaquettes entre les chambres de procédés. ALCATEL AMS 200 SE offre également une gamme de fonctions de contrôle de processus, y compris la flexibilité des recettes, des débits variables de température et de gaz, ainsi que des technologies de contrôle de surpression et des dispositifs de sécurité avancés. Le graveur-asher est également équipé d'une source de plasma RF, capable de fournir du plasma répété et uniforme à travers le substrat lors des processus de gravure ou de cueillette. L'uniformité du plasma assure un contrôle et une précision supérieurs du processus. En outre, PFEIFFER AMS 200 SE dispose d'un système de réduction spécifique pour la gestion des émissions d'échappement. Ce système est basé sur une série d'étapes de filtration pour assurer la sortie de gaz de procédé la plus pure possible. L'AMS 200 SE offre une alternative rapide, fiable et répétable pour la gravure et l'ashing des substrats dans de multiples industries, telles que les semi-conducteurs, l'électronique, le médical, l'automobile et plus encore. Ses caractéristiques de sécurité avancées protègent les utilisateurs, assurent la répétabilité et la qualité des processus et optimisent le rapport coût-efficacité.