Occasion ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #293757692 à vendre en France
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ID: 293757692
Etcher
ESC Chuck, 6"
Robot and controller
Molecular pump and controller
Butterfly valve and controller
E-Chuck voltage controller
Chamber
RF Source and bias match
Chiller
Process and transfer dry pump chamber
MFC Gases: N2, AR, O2, SF6, C4F8
T1/T2 Transformer: 110 V
RF Source generator: 3 kW
RF Bias generator: 500 W
PC
Monitor
Keyboard
Transformer: 380-208 AC, 3 Phase.
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