Occasion ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9229760 à vendre en France
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ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 est un graveur/asher à très haut vide connu pour sa grande précision. Ce matériel est souvent utilisé pour des processus complexes de gravure et de cueillette dans une variété d'industries et d'applications de recherche. Le microscope à force atomique de ADIXEN AMS 200 a une très haute résolution et peut être utilisé pour la recherche et l'imagerie d'échantillons. Sa haute résolution le rend adapté à un large éventail d'applications, des systèmes IC aux nanoparticules. De plus, sa source d'ions pulvérisateurs peut contrôler efficacement le faisceau d'ions pour créer des structures parfaites sur des surfaces d'échantillons. Le traitement de l'échantillon dans ALCATEL AMS 200 se caractérise par un haut niveau de flexibilité et de reproductibilité. La température et la pression du procédé peuvent être ajustées avec précision et garanties quelle que soit la pression du procédé ou la taille de l'échantillon. Les propriétés de surface sont obtenues par l'utilisation de traitements plasmatiques in situ permettant l'oxydation de la surface de l'échantillon. Cela réduit le risque de contamination superficielle et améliore l'adhérence pour le processus de gravure et de cueillette. Le procédé de gravure dans AMS 200 utilise un panache de gravure gazeuse massique d'oxyde permettant une dégradation délicate et minimale de la surface de la plaquette. La gravure est effectuée sous vide élevé, où les ions pulvérisés de la surface de l'échantillon sont plus rapides pour atteindre les espèces d'oxygène hautement réactives. Il en résulte une gravure plus uniforme et des dommages minimes au matériau de l'échantillon. De même, le processus de cueillette dans PFEIFFER AMS 200 est réalisé sous vide élevé. En utilisant sa combinaison d'espèces réactives d'oxygène et de haute pression de procédé, le processus d'ashing est optimisé pour enlever rapidement et efficacement le matériau de la surface avec des dommages minimes. ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 dispose également d'un système sophistiqué de régulation de température. Cela permet à l'utilisateur de régler la température de la chambre de traitement ou de modules ou de pièces spécifiques. La température est maintenue constante même avec une pression de processus variable. En conclusion, l'ADIXEN AMS 200 est une solution idéale pour les procédés nécessitant une gravure et une cendre sous ultra-vide. Sa combinaison de technologies de pointe, y compris le microscope à force atomique et le traitement plasma in situ, garantit des résultats cohérents et précis. De plus, le système de régulation de température assure un minimum de dommages au matériau de l'échantillon, ce qui en fait un choix idéal pour une variété d'applications.
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