Occasion ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9232795 à vendre en France
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ID: 9232795
Style Vintage: 2006
Etcher
ESC Chuck, 6"
Missing parts:
Computer
Pump
2006 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 est un système de gravure/ashing de haute précision conçu pour répondre aux besoins des environnements avancés de traitement des plaquettes. Il dispose d'une source d'électrons triode-plasma de longue durée, permettant au système d'effectuer une gravure contrôlée, recuit, et d'autres fonctions de traitement. Le contrôle du processus est très précis, ce qui permet une excellente résistance et une excellente répétabilité. La source est réglable sur une gamme de probabilités pour atteindre le résultat souhaité. La construction de la machine est robuste et simple. Il se compose principalement d'une chambre à vide avec une porte de commande, une source de plasma et ses systèmes d'alimentation et de commande pertinents. La source de plasma dispose d'un mécanisme d'obturation réglable qui assure un processus de gravure/cueillette uniforme sur l'ensemble de la plaquette. L'air et le gaz azoté sont appliqués sur chaque plaquette, sans rayonnement thermique et sans l'endommager. Le processus de gravure/ashing peut être adapté à n'importe quelle application et les réglages sont facilement traduits entre les plaquettes. Il maintient une vitesse de traitement très précise et répétable à travers l'ensemble de la plaquette, même avec des motifs complexes. L'ADIXEN AMS 200 peut fonctionner plus longtemps en raison de ses basses températures de fonctionnement par rapport aux systèmes alternatifs. En outre, ALCATEL AMS 200 dispose d'une multitude de mécanismes de sécurité. Il dispose d'une suite de capteurs qui surveille la régulation et les sources d'azote, la pression sous vide et les températures internes. Des notifications sont envoyées à l'utilisateur si l'un de ces sous-systèmes dépasse les paramètres de fonctionnement sûrs. La machine dispose également d'une option d'arrêt d'urgence en cas de problème. PFEIFFER AMS 200 est un système polyvalent, capable de répondre à toute une série d'exigences de traitement des plaquettes tout en assurant sécurité et précision. Il s'agit d'une solution idéale pour les environnements nécessitant des capacités de gravure et de cendrage de haute précision et à l'échelle fine.
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