Occasion ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9315053 à vendre en France
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ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 est un graveur/asher conçu pour des applications spécifiques telles que les écrans plats, les plaquettes semi-conductrices et les cellules solaires. L'équipement est conçu pour assurer la précision de gravure/cueillette de zones aussi petites que 350nm. Il dispose d'une chambre de processus entièrement fermée et automatisée qui est capable de contrôler avec précision les paramètres du processus et d'une interface utilisateur personnalisable pour un fonctionnement efficace. L'ADIXEN AMS 200 est équipé d'un équipement de contrôle des gaz perfectionné qui permet un contrôle précis du débit et une surveillance de tous les gaz de procédé pertinents. Le système est capable d'une variété de paramètres de gravure/ashing incluant le type de gaz, la pression, la température et le débit. Il existe également une variété d'options de processus, telles que la marche/arrêt, la gravure/cueillette et la gravure/cueillette profonde. L'unité peut également être adaptée à un large éventail de tailles d'échantillons et d'applications et offre une excellente uniformité du résultat gravé/cendré. ALCATEL AMS 200 dispose également d'une machine automatique d'alignement des plaquettes. Cela garantit que l'échantillon est correctement aligné dans la chambre de procédé avant le début de la gravure/cueillette. L'alignement est réalisé à l'aide d'un ensemble de jigs d'alignement réglables qui assurent un ajustement précis pour chaque plaquette. PFEIFFER AMS 200 dispose également d'un outil sous vide avancé. L'actif est capable d'atteindre des pressions inférieures à 0,1 Torr et est équipé de divers composants de vide tels qu'une pompe à vide, une jauge de vide et un régulateur de modèle de vide. Cela garantit que tous les paramètres du procédé sont précisément contrôlés et que les échantillons sont complètement exposés au processus de gravure/cueillette. Pour s'assurer que les résultats sont répétables et exempts de contaminants, l'AMS 200 dispose d'un équipement d'échappement puissant. Ce système dispose de buses d'échappement qui enlèvent tous les sous-produits de procédé et les gaz de gravure/ashing inutilisés, assurant un environnement de traitement propre et sûr. ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 est logé dans une enceinte en acier inoxydable robuste qui offre une excellente protection contre les poussières et autres contaminants. En outre, l'unité est conçue pour être facile à entretenir et à réparer. L'utilisateur peut accéder à la chambre de procédé rapidement et facilement et remplacer toutes les pièces usagées sans avoir à démonter l'ensemble de la machine. En conclusion, l'ADIXEN AMS 200 est un graveur/asher avancé qui assure un contrôle précis des processus pour un large éventail de tailles d'échantillons et d'applications. Il dispose d'une enveloppe robuste qui est facile à entretenir et à réparer et offre une excellente uniformité du résultat gravé/cendré à l'aide d'un outil de vide puissant et des moyens d'échappement.
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