Occasion ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9225142 à vendre en France

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ID: 9225142
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 2007
Deep etcher, 6" Process: BOSCH (2) Chamber etch systems With BROOKS Handler Up to (4) chambers Load / Unload stations Scrubber (3) Computer consoles (2) LN2 Tanks Process module: SE Silicon etch Gases: CF4, O2, CHF3, He, Ar, N2 Process module: (2) RGV Dielectric etchers Gases: SF6, O2 (20 SCCM), O2 (1000 SCCM) High generated plasma density: >10^11 ions/cm³ Very high silicon etch rates: >30 μm/min Steep and vertical side walls as well as high selectivity MEMS and semiconductor device fabrication: Silicon (SI) Silicon on insulator (SOI) Silicon dioxide (SiO2) Wide range of substrate types Wafer sizes of 4", 5", 6" or 8" diameter with quick wafer size Cluster tool modules: Up to (4) process modules Control module per process module Transfer module Energy Dispatching Module (EDM) Graphic User Interface module (GUI) (2) End point detection (EPD) systems (2) Chillers Oxide chamber has an ESC chuck Silicon chamber has a liquid N2 cooling and mechanical clamping 2007 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200 est un équipement de graveur/asher à plasma conçu pour des applications complexes de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est bien adapté pour des opérations de gravure et de cendrage délicates et très précises, permettant la production de composants semi-conducteurs de haute performance avec des détails extrêmement fins. L'ADIXEN AMS 4200 est piloté par un système de transport médiatique vectorisé qui offre une précision et une uniformité de contrôle. Cela garantit un haut niveau de précision tout au long du processus de gravure/ashing, car les tailles d'espacement et de course chevauchées sont cohérentes. Il est également capable de manipuler de multiples tailles de plaquettes et substrats grâce à sa cassette réglable. La machine utilise plusieurs alimentations à source unique pour fournir les vitesses de gravure et les niveaux d'uniformité nécessaires. Toutes les alimentations sont montées côté haut et accessibles à l'usage et à l'entretien de l'opérateur. L'unité est également résistante à la contamination et se déplace dans les conditions de processus en utilisant un plasma contrôlé et propre. Grâce à sa conception conviviale et à ses clés de fonction dédiées, les opérateurs peuvent produire rapidement et de façon fiable avec une expérience minimale. ALCATEL AMS 4200 est construit avec une variété de caractéristiques de sécurité pour assurer le plus haut niveau de sécurité et de fiabilité des processus. Ceux-ci comprennent des capteurs à quartz qui détectent les changements de température des plaquettes ainsi que des opercules de sécurité qui protègent les plaquettes contre les mouvements soudains. Le processus de gravure/ashing est surveillé en temps réel avec des systèmes de diagnostic qui l'empêchent de stagner ou d'être affecté par des changements soudains des conditions environnementales. La machine comprend un logiciel intégré pour permettre une émulation précise des paramètres du processus de gravure/ashing. Ce logiciel permet aux opérateurs de varier les paramètres rapidement, facilement et précisément pour profiter de l'excellente répétabilité de l'outil. Enfin, l'ensemble de l'actif est conçu pour être facilement installé et entretenu grâce à sa construction modulaire et sa conception conviviale. La conception efficace du modèle sur support simplifie l'installation ainsi que le déménagement. L'entretien est rapide et pratique avec le kit d'outils inclus et les pièces approuvées par le fabricant. En tout, PFEIFFER AMS 4200 est un équipement de graveur/asher avancé et précis qui est parfait pour créer des gravures et des cendres de wafer précises et complexes. Grâce à ses fonctions faciles à utiliser et à ses résultats fiables, le système peut être utilisé dans des applications complexes de fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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