Occasion ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9280675 à vendre en France

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200 est un équipement de graveur/asher pour la fabrication de dispositifs microélectroniques. Il est conçu pour permettre un contrôle précis des processus de gravure et de cueillette d'une variété de matériaux semi-conducteurs et/ou de dispositifs micro-électroniques. Le système offre un meilleur contrôle des processus grâce à des diagnostics avancés et les dernières offres de produits de gravure/cendres. ADIXEN AMS 4200 est une unité de graveur/asher modulaire entièrement automatisée composée de deux composants essentiels : l'écran d'entrée et la chambre de gravure/cendres. Le moniteur d'affichage se compose d'un écran tactile couleur de 8,4 pouces avec accès à une gamme de paramètres réglables pour assurer une capacité de processus précise. Une interface graphique intuitive permet une navigation facile à travers différentes options de gravure/cendres. L'écran tactile de 8,4 pouces comporte un contrôle de guidage en 4 étapes, un fonctionnement manuel, un menu complet d'informations essentielles et une surveillance dynamique du fonctionnement en temps réel. La chambre de graveur-cendrier est constituée de deux chambres installables séparément, la chambre de gravure et la chambre de cendrage, reliées par une conduite de gaz. La chambre de gravure est composée d'un circuit de rétroaction alternatif qui commande un moteur pas à pas pour contrôler des quantités variables de gaz de procédé et de temps de gravure pour créer les profils gravure/cendres désirés. La chambre de cueillette comprend un ensemble chauffant en céramique, un transducteur de pression et trois thermocouples en quartz. ALCATEL AMS 4200 dispose également de la compatibilité cryogénique, pour permettre des processus de gravure/ashing pour les matériaux sensibles à la température. La machine peut fonctionner en mode wafer simple ou multiple. L'AMS 4200 offre également des fonctionnalités de sécurité pour l'utilisateur, comme un interrupteur d'arrêt d'urgence en cas de conditions de température excessive, de surpression et/ou de débit de gaz anormal. PFEIFFER AMS 4200 a une plage de température de 0-1000 ° C et une plage de pression de procédé de 0,2-7,5 torr. L'outil est équipé d'un raccord de gaz de chambre sous pression pour le conditionnement de l'échantillon et d'un raccord de tube d'évent manuel. Les matériaux de construction sont l'acier inoxydable, l'aluminium et le Pyrex. ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200 offre une gamme de fonctionnalités, y compris la précision du contrôle des processus, le chargement et le déchargement automatisés des plaquettes, et la compatibilité pour plusieurs types de processus. Il convient à la gravure d'une variété de matériaux dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs, y compris Si, SiGe et SiO2.