Occasion ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9285833 à vendre en France
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ID: 9285833
Style Vintage: 2008
Plasma DRIE etcher
Dual load locks
Robot transfer module
Controller rack
RF Generator rack
Front and rear monitor
BROOKS AUTOMATION Platform
Magnatron 7 Robot
ACT 600M TMP Turbo pump
Interface computer
Transfer computer process chamber: AMS X200
ACT 1300M TMP Turbo pump
(2) SEMCO HV52000C SEREN L301 RF Power supplies
ADVANCED ENERGY Dressler cesar RF
ENI Spectrum B-3013 RF Generator
Process gases:
Gas / Range
SF6 / 1000 SCCM
C4F8 / 400 SCCM
O2 / 100 SCCM
O2 / 800 SCCM
Ar / 200 SCCM
N2 / 1000 SCCM
Ar / -
CHF3 EDM / -
CE Marked
Power supply: 200/208 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
2008 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200 est un graveur/asher à plasma spécialement conçu pour les exigences exigeantes en matière de gravure et de cendrage de l'aluminium. ADIXEN AMS 4200 dispose d'un contrôleur HMI à écran tactile avec une large gamme de capacités de gravure et d'ashing. Il est conçu avec une source de plasma de 700 watts, permettant une répétabilité accrue et un rendement accru dans le processus de gravure/ashing. Il a une conception unique en acier inoxydable à double paroi, qui crée et entretient une chambre à vide, assurant un traitement approprié lors de la gravure/cueillette des composants en aluminium. Il est également livré avec une variété de caractéristiques de sécurité, telles qu'une vanne de gaz à minuterie, une vanne de débordement de gaz, et un régulateur de vide à double vitesse, pour une sécurité accrue. ALCATEL AMS 4200 dispose également de nombreux paramètres personnalisables, tels que les fréquences DC et RF réglables, la modulation de largeur et les profils de courant, permettant à l'opérateur d'adapter le processus de gravure et d'assurer les résultats souhaités. Le générateur RF intégré offre une large gamme de niveaux de puissance, de 50 W à 700 W, ce qui permet d'affiner le processus de gravure pour chaque application spécifique. De plus, le contrôle intégré de la pression de la chambre et le manomètre intégré permettent un contrôle précis de la pression de la chambre lors de la gravure ou de la cueillette des composants en aluminium. PFEIFFER AMS 4200 est livré avec une gamme de fonctionnalités qui augmente l'efficacité et la reproductibilité tout en minimisant les coûts de maintenance. Un logiciel personnalisable avec stockage des recettes et enregistrement des alarmes permet à l'opérateur de configurer et stocker facilement les recettes de traitement et les opérations de dépannage. De plus, des régulateurs automatiques de gaz et un système de décollage programmable en option assurent une productivité répétable. Un système d'approvisionnement à deux sources efficace et fiable est également disponible, réduisant les temps de mise en place et améliorant la répétabilité des processus. Enfin, l'AMS 4200 peut être combiné à une variété de modules, tels qu'un module in situ de détection des fuites sous vide, ce qui peut réduire encore les coûts d'installation et améliorer la répétabilité des processus. Dans l'ensemble, ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200 est un graveur/asher fiable et efficace. Ses caractéristiques améliorent la répétabilité du processus et minimisent les coûts de maintenance, tandis que ses réglages personnalisables permettent un contrôle précis du processus de gravure/ashing, garantissant des résultats optimaux.
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