Occasion ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 601E #9232798 à vendre en France

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 601E est un graveur/asher de pointe utilisé pour les processus de gravure et de cueillette de précision. Cette machine polyvalente est le choix idéal pour une microfabrication de haut débit et de haute qualité. Avec sa grande chambre, le 601E permet la gravure de plaquettes jusqu'à 8 "de taille ainsi qu'une variété de substrats dont le silicium, le verre et les substrats polymères. Le 601E dispose d'une technologie avancée de gravure et de cendrage, y compris une source de plasma 3D, une manutention intégrée du gaz et un pompage différentiel basse pression. La source de plasma 3D dans le 601E est capable de produire du plasma plus dense et plus uniforme par rapport à une conception traditionnelle à plaques planes. Cette technologie permet une reproductibilité accrue des procédés et produit des taux de gravure plus élevés. Le système intégré de traitement des gaz, par contre, assure un contrôle précis des gaz de procédé, permettant un environnement plasma plus uniforme ainsi qu'une meilleure répétabilité des procédés. Le 601E est également équipé d'un système de refroidissement de la chambre, qui réduit la température de la chambre de procédé lors de longs processus. Ceci permet de maintenir les substrats à une température idéale pour optimiser les performances de gravure et le contrôle précis de la détection du point d'extrémité. De plus, le système de pompage différentiel basse pression aide à maintenir une enveloppe plasmatique formée pendant les longs frottements. ADIXEN AMS 601E est conçu pour les plus hauts niveaux de précision de gravure et de cendrage. Avec sa technologie de pointe, son design robuste et ses performances fiables, le 601E est le choix idéal pour toute application de gravure ou d'ashing.