Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0020-89006 #167778 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 0020-89006 est un graveur/asher avancé pour la fabrication de semi-conducteurs. Ce graveur/asher utilise des technologies plasma froid pour traiter des substrats à couches minces. L'équipement dispose de capacités de gravure planaires et 3D pour graver et asher les substrats à couches minces à la précision submicronique avec une uniformité répétable. Les composants du système comprennent une chambre de gravure avec serrure, une chambre asher avec serrure, un poste de pompage, une chambre de filtration/purge intégrée, une alimentation en gaz inerte, une unité d'alignement de précision, un module pneumatique, une alimentation électrique, une machine d'amorçage ex situ sous vide et un entrelacement sous vide. L'outil est conçu pour fournir un plus grand débit d'actifs et l'utilisation avec un rendement de production amélioré et des dommages de substrat réduits. Ce modèle est capable de traiter jusqu'à 6 pouces de plaquettes, et dispose d'un module de contrôle de processus avec plusieurs recettes et 250 étapes par recette. Il est conçu pour supporter de multiples procédés de gravure en couches minces et de traitement de substrat, y compris, sans s'y limiter, la gravure diélectrique, la planarisation de surface CMP, le nettoyage et le conditionnement du plasma électrostatique, la gravure par pulvérisation, le revêtement conforme, l'oxydation/nitridation et le recuit à haute température. L'équipement dispose d'une multitude de caractéristiques pour assurer un traitement précis et l'uniformité, y compris le couple et le contrôle de la fermeture des plaquettes, le contrôle de la pression du collecteur de refroidissement, la capacité d'autofocus pour le contrôle de la profondeur de focalisation, la capacité d'ajuster les conditions de processus et les niveaux de puissance, les capacités de mesure in situ pour surveiller les paramètres critiques du processus et la chambre propre intégrée pour protéger contre la contamination. AMAT 0020-89006 est un système de graveur/asher de qualité industrielle qui fournit une précision de haut niveau avec une uniformité répétable. Ses caractéristiques avancées assurent un traitement efficace et assurent uniformité et précision pour les séries de quantités de production. Son unité sophistiquée offre des capacités étendues pour la gravure en couches minces et le traitement en couches minces. Cette machine est la solution idéale pour les applications de fabrication de semi-conducteurs.