Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0240-92696 #171999 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 0240-92696 est une plate-forme graveur/asher conçue pour la gravure en chambre et l'ashing de divers matériaux à couches minces. L'etcher/asher dispose d'un équipement entièrement automatisé pour le chargement/déchargement d'échantillons et dispose d'un HMI basé sur Windows. Il est équipé de deux modules de traitement : un module d'électro-polissage à 5 poches et un module de gravure à sec à 6 poches. Les deux modules présentent une conception de chambre à double processus, ce qui permet de réaliser des processus indépendants dans chaque chambre et de traiter de grands substrats jusqu'à 18 pouces de diamètre. Le système graveur/asher est capable de traiter une grande variété de matériaux tels que les métaux, le silicium, l'arséniure de gallium, la céramique et le verre en utilisant un certain nombre de techniques de gravure, y compris la gravure humide, la gravure plasma et la gravure ionique réactive (RIE). Le module de gravure humide est équipé de bains chauffés pour les composés corrosifs de gravure, et de systèmes de rinçage et d'évent séparés pour un traitement propre et efficace. Le module de gravure plasma utilise la puissance de la source radiofréquence (RF), permettant une gravure à la fois directionnelle et isotrope, avec une contrôlabilité de gravure exceptionnelle. Le module RIE permet d'obtenir une gravure exacte avec un minimum de débris en utilisant un plasma haute densité. AMAT 0240-92696 intègre des fonctions de surveillance et de contrôle sophistiquées, permettant des processus précis et reproductibles. Par exemple, l'échantillonneur automatisé permet à l'unité de graveur/asher de surveiller constamment la température, la pression et la puissance RF ICP dans les deux modules. Il nécessite une implication minimale de l'opérateur, avec une interface utilisateur graphique intuitive pour permettre un bon fonctionnement. La machine comprend également un outil automatisé de gestion des gaz d'échappement, pour s'assurer que tous les gaz sont bien évacués de l'outil, et un interrupteur d'arrêt d'urgence pour une protection supplémentaire. Dans l'ensemble, APPLIED MATERIALS 0240-92696 est une plate-forme de graveur/asher avancée qui offre aux utilisateurs une gamme de fonctions de gravure et de cendrage de haute précision. Son atout d'automatisation intégré et ses contrôles de surveillance garantissent des processus précis avec une participation minimale de l'utilisateur, et son large éventail de techniques de gravure le rendent adapté à une utilisation dans une variété d'applications.