Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 8110 #293652765 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 8110 etcher/asher est un outil polyvalent et performant pour la gravure et la gravure d'une large gamme de substrats, dont le silicium, le quartz et d'autres diélectriques. Il est conçu pour l'enlèvement rapide et efficace du matériel pour créer des fonctionnalités périphériques sur l'échelle micron-sous-micron. Cet outil est capable de contrôler la profondeur et la largeur gravées avec une précision supérieure à 10 Angströms en utilisant le procédé de gravure ionique réactive (RIE). AMAT 8110 dispose d'une chambre de traitement en collier fermé pour assurer l'uniformité et est équipé de sources automatiques de plasma à couplage inductif parallèle (iCP) qui permettent un rapport d'aspect élevé et une couverture d'étape. La technologie de manutention automatisée des plaquettes fournit des résultats cohérents et reproductibles pour une production à haut volume. Le graveur/asher est conçu pour manipuler des lots de plaquettes jusqu'à vingt-quatre 6 pouces (150 mm) pour un débit élevé et une productivité maximale. Cet outil est conçu pour être compatible avec une large gamme de gaz de trempe, y compris le chlore (Cl2), les fluorocarbones (CF4 et CHF3), l'oxygène (O2) et le trifluorure d'azote (NF3). L'utilisation de gaz de gravure de haute pureté et d'une chambre de traitement en collier fermé permet d'améliorer l'uniformité de gravure, le débit final et la répétabilité. En outre, le graveur/asher peut être équipé d'un moniteur à cristaux de quartz (QCM) pour surveiller le processus de gravure directement in situ. MATÉRIAUX APPLIQUÉS 8110 etcher/asher comprend un compresseur intégré et un équipement sous vide, ainsi qu'un système de refroidissement en boucle fermée, fournissant un environnement plasma optimisé. Une interface utilisateur embarquée fournit un contrôle intuitif, la surveillance et l'enregistrement de divers paramètres de processus, y compris la température et la pression. Cet outil permet également le suivi en temps réel de plusieurs variables de processus, permettant l'optimisation des processus et le maintien de la cohérence des processus pour des rendements élevés. Pour résoudre les problèmes liés à la répétabilité des processus, cet outil utilise une unité propriétaire d'analyse des taux de char avec reconnaissance des motifs pour assurer la cohérence des résultats de gravure d'une plaquette à l'autre. 8110 offre également l'option d'une machine automatisée d'alignement de plaquettes de précision pour la couverture des paliers et les structures à haut rapport d'aspect. Dans le cadre de son équipement standard, AMAT/APPLIED MATERIALS 8110 est également équipé d'un contrôle programmable de la boucle de rétroaction, ce qui permet de tester la sonde pour améliorer le contrôle des processus afin d'obtenir des résultats. AMAT 8110 etcher/asher est conçu pour aider les fabricants avec leur production et la qualité. Sa conception polyvalente, son débit élevé et son matériel robuste permettent une production rapide et efficace avec des performances répétables et des rendements maximums. Cet outil est un outil essentiel pour les fabricants de semi-conducteurs, obtenant la plus grande précision d'échelle et de dispositif.