Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 8115 #78336 à vendre en France
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ID: 78336
Taille de la plaquette: 5"
Plasma Etcher for 5" wafers
System includes:
25 x 25 SS water cooled bell jar
Power hoist
AMAT PLC controller
Auto valve control
2Kw RF power supply with matching network
Multi MFC gas inlet & pressure controller
Heat & cool exchanger pump assembly
Three gas manifold
Leybold TMP1000 L/S Turbo pump
D60 Mechanical pump
Quartzware and Spares
Manuals
Not included:
RF power supply
Turbo pump and controller
Gas and vacuum manifold
Mechanical pump
Gate valve
O-rings
Seals
Gaskets
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AMAT/APPLIED MATERIALS 8115 etcher/asher est un équipement avancé de gravure à sec conçu pour traiter des plaquettes rondes ou rectangulaires jusqu'à 8 "de taille. Il est utilisé dans diverses industries, telles que la fabrication de semi-conducteurs, l'affichage à écran plat et la fabrication de MEMS. Ses capacités de gravure le rendent idéal pour des substrats de taille similaire. Ce système dispose d'une unité de commande sophistiquée, qui permet un contrôle précis du processus et la répétabilité. La précision de la commande de mouvement à deux axes de la machine permet des résultats de gravure très performants et reproductibles. Une autre caractéristique de l'AMAT 8115 est sa capacité à traiter une large gamme de gaz de procédé, y compris O2, Cl2, SF6, NH3, etc. Cette flexibilité du gaz le rend adaptable à une variété de besoins de gravure. MATÉRIAUX APPLIQUÉS 8115 utilise un composant à champ ouvert à cathode dure, qui est conçu pour assurer une gravure plus uniforme que les systèmes magnétron. En outre, le générateur RF intégré peut fournir une puissance élevée pouvant atteindre 300 W. Cet outil fonctionne avec une empreinte compacte et se compose d'un module de transfert, d'une chambre de réaction, d'une robotique et de moyens d'échappement. Le modèle est conçu pour faciliter le chargement et le déchargement automatisés des plaquettes. L'équipement est également équipé d'une capacité de surveillance du gaz pour s'assurer que le processus fonctionne à des niveaux optimaux. 8115 Etcher/Asher est conçu pour offrir une gravure haute performance avec une précision, une répétabilité et une fiabilité à long terme extrêmes. C'est un outil pratique et économique pour les fabricants de semi-conducteurs et d'autres industries utilisant des procédés de micro-fabrication.
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