Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 8115 #9196362 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 8115 est un équipement de gravure/cendres qui fournit une gravure et un cendrage à grande vitesse pour les couches de dispositifs critiques dans de nombreux procédés avancés de dépôt et de gravure de matériaux. AMAT 8115 fournit des performances de processus supérieures pour des applications critiques dans le traitement des semi-conducteurs de plaquettes de silicium. Ce système offre une gravure et une cendre de précision pour plusieurs matériaux, dont le silicium, le dioxyde de silicium, le silicium polycristallin, le nitrure et les métaux. Cette unité est alimentée par un progiciel avancé avec un réseau de mémoire intégré et un processeur, qui permettent aux utilisateurs d'obtenir les meilleures performances, productivité et rentabilité. MATÉRIAUX APPLIQUÉS 8115 comprend deux sources de processus indépendantes et automatisées, conçues pour fournir les meilleurs rendements de processus. Les utilisateurs sont en mesure d'optimiser leurs processus avec les techniques les plus modernes, et 8115 exécuteront des recettes distinctes pour les processus de gravure et de cendres simultanément. AMAT/APPLIED MATERIALS 8115 dispose d'une source RF entièrement automatisée, d'une collecte de données à faible parc et de sélections de cartes de configuration de Wafer, qui permettent aux utilisateurs de sélectionner des cibles de processus pour les plaquettes individuelles. Cela permet d'améliorer l'uniformité des processus et a amélioré le temps de cycle. AMAT 8115 dispose d'une machine optique intégrée pour observer la surface de la plaquette pour la surveillance et le diagnostic des processus en temps réel. Cela permet l'optimisation du processus, la maintenance et l'amélioration du rendement. MATÉRIAUX APPLIQUÉS 8115 est capable de supporter un large éventail de paramètres de recette, qui comprennent la livraison de gaz efficace, la puissance, la température, la pression et le contrôle de chambre. Il offre également une combinaison exigeante de gravure à grande vitesse, de refroidissement efficace et d'élimination rapide des résidus de procédé. Cela permet de maintenir les exigences de chauffage, de refroidissement et de gravure serrées d'un procédé très avancé. En outre, 8115 est construit sur une plate-forme d'architecture ouverte, donc il est facilement intégré avec d'autres équipements et modules logiciels AMAT. Avec son ensemble de fonctionnalités étendu, les utilisateurs peuvent effectuer de nombreuses applications de gravure et de cendres avec facilité. AMAT/APPLIED MATERIALS 8115 est un outil compact et puissant, parfait pour le traitement de substrat de nombreux matériaux avancés.