Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 8300 #101449 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 8300 Asher/Etcher est un équipement de traitement chimique thermique en deux étapes, à haut débit, compatible avec la lithographie, conçu pour graver ou aspirer une grande variété de matériaux, y compris la silice, le quartz, le silicium, le germanium et d'autres semi-conducteurs. Le système est capable de fonctionner à grande vitesse (plus de 90 plaquettes par heure) et avec une grande uniformité. L'unité AMAT 8300 est équipée d'une plate-forme asher multi-étapes à vide élevé et d'une chambre de gravure asher/asher basse dépression haute performance, permettant un débit de processus facile. La machine à vide haute peut atteindre des pressions allant jusqu'à 1.2E-7 torr, ce qui permet d'uniformiser le processus. La chambre de traitement à travers la plaquette est optimisée pour les opérations à basse dépression. La chambre de gravure/cueillette à haut débit comprend une sélection de gaz de procédé, un régulateur de débit de gaz et un régulateur de température. Tous ces composants sont surveillés et/ou traités avec sensibilité afin d'assurer un contrôle optimal du processus. Le résultat final est une excellente définition des bords, une faible résistance des feuilles et des effets de chargement minimes avec des raffinements typiques observés dans différents types de cendres ou de graveurs. APPLIED MATERIALS 8300 dispose d'une source de plasma brevetée, sans électrode, chargée de gaz nobles, qui fournit une grande prévisibilité des paramètres du procédé. Cela garantit une uniformité dans l'ensemble du processus. L'outil est également équipé d'une boîte à gaz amont et d'un actif de mélange de gaz, qui permettent de mesurer et de contrôler les gaz de procédé avec précision et précision, ainsi que de contrôler la température. 8300 est conçu pour un excellent débit. Le modèle à vide élevé peut traiter jusqu'à 90 plaquettes par heure et l'équipement à vide faible peut traiter 45 plaquettes par heure. Cela signifie qu'il est capable de traiter rapidement un grand nombre de plaquettes de tailles et d'épaisseurs différentes. AMAT/APPLIED MATERIALS 8300 offre également une grande facilité d'utilisation, avec une interface utilisateur intuitive (UI) qui permet aux utilisateurs de facilement configurer et exécuter des processus. L'interface utilisateur comprend des outils avancés tels qu'une bibliothèque de recettes, un moniteur de processus et un journal historique. Cela permet aux utilisateurs d'analyser rapidement les performances de leur processus et de l'ajuster en conséquence. Dans l'ensemble, l'AMAT 8300 Asher/Etcher est un système extrêmement robuste et fiable de gravure/cueillette d'une grande variété de matériaux pour des procédés avancés. Il est conçu pour un débit élevé et l'uniformité, et fournit une interface conviviale pour configurer et exécuter rapidement et facilement les processus. APPLIED MATERIALS 8300 offre d'excellents résultats de processus et une grande flexibilité et évolutivité.