Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 8300 #293610283 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS 8300 est un équipement multi-fonctions de graveur et asher conçu pour le traitement complexe des substrats semi-conducteurs. Ce système combine la gravure par ions réactifs profonds (DRIE) et la cueillette de plasma en une seule unité, ce qui permet de créer rapidement des dispositifs performants. AMAT 8300 est conçu pour traiter des substrats jusqu'à 8 "de taille de plaquette, avec une fenêtre de processus évolutive pour accueillir une variété de substrats et de paramètres de processus. Pour la gravure, la machine utilise une source avancée de plasma à couplage inductif (ICP) intégrée dans un corps léger en fibre de verre pour fournir un débit de gravure élevé. Cette source ICP est conçue avec une gamme de paramètres réglables pour une production à faible coût. On aspire en introduisant un gaz oxygéné, tel que O2 ou O3, dans la chambre de réaction, puis en activant le gaz avec une source de plasma externe. Cette cendre de plasma permet un dépôt contrôlé et/ou un enlèvement de matériaux de manière non-contact. L'outil est conçu pour une fiabilité et une répétabilité élevées, avec des recettes de processus automatisées qui permettent d'affiner les paramètres de processus pour répondre aux spécifications les plus élevées. Avec une longue durée de vie et une grande précision, APPLIED MATERIALS 8300 est idéal pour la fabrication d'une large gamme d'appareils, y compris des pièces numériques, analogiques et à mémoire haute vitesse. 8300 est livré avec un micro-ordinateur embarqué, permettant la surveillance et le contrôle à distance, tandis que la grande fenêtre de visualisation permet une visualisation facile de la chambre de processus interne. Pour garantir précision et qualité, AMAT/APPLIED MATERIALS 8300 est livré avec des systèmes dédiés de contrôle des processus et de métrologie, avec un auto-ajustement des paramètres de gravure dans le cadre du processus. Enfin, AMAT 8300 est livré avec un ensemble complet de sécurité. La suite logicielle QSX permet une surveillance automatisée des paramètres de processus et des points de défaillance potentiels, en alertant sur tout problème potentiel avant qu'ils ne surviennent. Des dispositifs de sécurité tels qu'un verrou sur la chambre de réaction et un dispositif anti-incendie garantissent que le modèle est conforme à tous les règlements et protocoles de sécurité. Dans l'ensemble, APPLIED MATERIALS 8300 est un équipement de gravure et d'ashing puissant et fiable conçu pour une productivité et une qualité optimales.
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