Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #293619542 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 Etcher/Asher est un outil utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs conçu pour fournir un procédé de gravure précis et contrôlé chimiquement. L'équipement permet une gravure chimique avec un contrôle précis des paramètres de réaction chimique et de la chimie de gravure. Il est utilisé pour graver ou façonner une grande variété de matériaux dont des surfaces métalliques, de la silice (oxyde de silicium), des nitrures et des polymères. AMAT 8310 se compose d'un plateau tournant à vitesse fixe, d'une chambre qui abrite le produit chimique de gravure et d'un sous-système d'alimentation en gaz. Le plateau est conçu pour tourner avec précision le substrat à une vitesse fiable afin d'appliquer uniformément la chimie de gravure. La chambre de gravure contient une série d'électrodes enduites de téflon, dont chacune délivre une quantité contrôlée de produit pharmaceutique de gravure. La sous-unité d'alimentation en gaz délivre une série de gaz, tels que CF4, O2 et N2, dans la chambre et fournit l'environnement optimal pour le processus de gravure chimique. Le procédé est initié par le chargement de substrats dans la chambre à vide à l'intérieur de la machine. Le tournage mécanique du plateau est commandé par un moteur à vitesse réglable et la chimie de gravure est assurée par un outil automatisé de livraison chimique. Le sous-actif d'alimentation en gaz introduira alors les gaz appropriés nécessaires pour soutenir le processus de gravure et les électrodes à l'intérieur de la chambre créeront une répartition uniforme du produit chimique de gravure. La chambre est ensuite pressurisée et amenée à la température et à la pression nécessaires à la gravure. Le processus est ensuite contrôlé par un générateur RF et un modèle de surveillance. Cet équipement contrôle la puissance radioélectrique appliquée à la plaquette, en veillant à ce que la gravure se fasse au bon rythme. Le moniteur affiche également des informations de paramètres de processus qui montrent le degré de gravure atteint, le temps restant avant que la gravure soit terminée, et la température et la pression de fonctionnement actuelles de la chambre. Une fois la gravure terminée, la chambre est évacuée, dépressurisée et refroidie. Le substrat est ensuite retiré de la chambre et inspecté au microscope optique pour vérifier le motif désiré et la topographie de surface. MATÉRIAUX APPLIQUÉS 8310 est capable de traiter des milliers de substrats sans intervention manuelle, assurant une gravure rapide et fiable.