Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #9365710 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 (AMAT 8310) est un graveur/asher à plasma automatisé, conçu pour la gravure/asher à haut débit et précise des substrats à motifs. L'équipement est capable de graver/ashing sur une large gamme de matériaux tels que SiO2, SiN, Si3N4, polyimide, métaux, nitrure, et d'autres matériaux. Le système est équipé de canons à double faisceau d'électrons réglables, d'une unité de vision intégrée et d'une machine de manutention robotique multi-stations. MATÉRIAUX APPLIQUÉS 8310 se compose d'une chambre à vide, d'une chambre d'isolement et d'un canon à double faisceau d'électrons. La chambre à vide fournit un environnement plasma uniforme qui est nécessaire pour une gravure/cueillette précise des motifs. La chambre d'isolement permet d'injecter des gaz dans la chambre de procédé dans une atmosphère inerte et de bloquer le rayonnement ultra-violet de la zone de procédé réduisant la contamination. Le canon à double faisceau d'électrons est la partie la plus importante du graveur/asher. Les faisceaux d'électrons fournissent l'énergie nécessaire à l'activation précise du plasma. Cela permet un débit élevé du processus de gravure/cueillette. La technique du double canon permet d'éliminer la nécessité de repositionner des substrats dans les cas où plusieurs niveaux de gravure sont requis, ce qui diminue le temps total de gravure/cueillette. 8310 est équipé d'un outil de vision intégrée pour l'alignement, l'inspection ponctuelle et la reconnaissance des motifs. Cela garantit que les motifs sont précisément alignés et que les substrats répondent aux spécifications du fabricant. En outre, un outil de manutention robotique multi-stations est utilisé pour offrir une flexibilité supplémentaire de manutention du substrat. Cela aide à réduire le nombre d'interventions manuelles, ce qui peut considérablement améliorer le débit. Enfin, conçu pour une production à haut volume, AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 dispose d'une vaste base de données qui permet aux utilisateurs de stocker leurs recettes pour un processus particulier de gravure/cueillette de matériaux. Le modèle offre également trois modes de fonctionnement différents : manuel, semi-automatique et automatique - chacun fournissant les meilleures performances et la stabilité pour une utilisation dans diverses applications. En bref, AMAT 8310 fournit un équipement de gravure/cueillette automatisé, à haut débit et précis qui est capable de graver/cueillir un large éventail de matériaux avec un système de vision intégré et une unité de manutention robotique multi-stations, ainsi que des canons à double faisceau d'électrons réglables pour une haute précision.