Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 8310A #9356368 à vendre en France
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ID: 9356368
Oxide etcher
AMAT 0010-00033 Controller unit
ENI OEM25A-21091-51 RF Generator
OEM-25A RF Power generator
BOC EDWARD E2M40 High vacuum pump
ADVANCED ENERGY 3155031-004 AZX90 RF Matching network
Chamber: AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-00172 Pre-reactor.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8310A est un équipement de graveur/asher comprenant une chambre à vide assurant l'environnement nécessaire à la cueillette et à la gravure des processus humides et secs. L'architecture modulaire unique d'AMAT 8310A permet un échange rapide de composants et une flexibilité dans le maintien du vide. Sa puissance et ses technologies intégrées de haute capacité permettent un processus de cendrage et de gravure rapide, efficace et reproductible. Le système de vide lourd aspire en toute sécurité les cendres, les gravures et les nettoyages à sec avec des sources d'énergie de chaleur ou de radiofréquence, assurant la sécurité de l'opérateur tout en optimisant l'enlèvement des matériaux. APPLIED MATERIALS 8310A est équipé de l'unité de commande AMAT ED3, qui permet de contrôler étroitement les processus de cendrage/gravure et la gestion de la machine à vide. Ses fermetures indépendantes et certifiées, ses scellés environnementaux et sa gestion éprouvée des processus garantissent un processus fiable et cohérent. De plus, les essais de fuite avancés et la détection de la stabilité au vide garantissent la sécurité de l'outil et de ses composants. 8310A est adapté à un large éventail de processus de cendrage et de gravure, y compris la gravure humide et sèche. Les procédés de gravure sèche, comme la gravure par plasma, impliquent la production de chaleur ou d'énergie radio-fréquence pour éliminer les matériaux de la manière la plus délicate. AMAT/APPLIED MATERIALS 8310A offre un contrôle automatisé des paramètres du procédé, tels que la pression, la température, le débit de gaz et la composition du gaz, permettant la mise en place rapide et l'optimisation des recettes de cendrage et de gravure. Un atout de télécommande avancé assure un contrôle sécurisé des données et du fonctionnement de l'etcher/asher, avec la possibilité de diagnostiquer à distance les erreurs et d'accéder aux archives média. Il offre également une configuration flexible et une surveillance des processus, avec un modèle intégré de détection des vibrations qui permet une surveillance en temps réel des conditions des processus. En plus de la multitude de technologies qui améliorent et automatisent le processus de gravure et d'ashing, AMAT 8310A offre également un certain nombre de fonctionnalités d'amélioration de l'efficacité, telles que la réduction du temps de cycle et l'augmentation de la productivité. Son architecture modulaire offre le maximum de place pour le contrôle des processus, avec accès à une variété de chambres et de sources d'énergie multiples. Cela rend l'équipement capable d'aspirer, de graver et de nettoyer à sec une large gamme de matériaux et de substrats. APPLIED MATERIALS 8310A est idéal pour les industries qui nécessitent des processus de gravure et de cueillette rapides, efficaces et reproductibles.
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