Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #293766202 à vendre en France
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AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 etcher est un équipement unique de gravure de semi-conducteurs conçu pour la recherche avancée dans les domaines des semi-conducteurs et du développement de matériaux avancés. Ce système de gravure très avancé offre un débit élevé, une flexibilité et une évolutivité de production pour les besoins de recherche et développement les plus difficiles. AMAT 8330 etcher comprend la capacité unique de mettre en scène plusieurs plaquettes simultanément et traite ces plaquettes très rapidement. L'outil est également capable de supporter une gamme de recettes pour optimiser les conditions de processus de gravure. APPLIED MATERIALS 8330 etcher utilise sa capacité avancée de mise en scène multiple de plaquettes pour traiter simultanément jusqu'à quatre plaquettes à la fois, avec des cycles de traitement qui prennent moins de 1 seconde par plaquette par rapport à des temps de traitement standard allant jusqu'à 10 minutes. L'graveur a à la fois une section de gravure sèche et une section de gravure humide optionnelle, qui sont toutes deux capables de fournir des procédés de gravure précis et à haut débit. En outre, la chambre de procédé est équipée d'une fente de dérivation pour le transfert rapide des plaquettes. La chambre de procédé de 8330 etcher a été spécialement conçue pour promouvoir l'uniformité et un contrôle de procédé supérieur. Il utilise une pompe de diffusion de gaz à entraînement direct pour le contrôle de pression et le choix d'une force mécanique électrostatique et chimique pour maintenir une pression constante. Une unité de contrôle de phase et de fréquence baratronique assure également un contrôle précis et précis du moment et de la pression lors de la gravure. Cette machine de gravure avancée est conçue avec un Job Modeler facile à utiliser pour fournir un contrôle précis sur les recettes de gravure. Le Job Modeler permet aux utilisateurs de sauvegarder leurs recettes personnalisées et de les rappeler facilement, en niant la nécessité de passer du temps à écrire et en optimisant la recette à chaque fois. De plus, le Job Modeler comprend plusieurs outils automatisés de gestion des processus et de flux de travail pour aider à réduire l'erreur de l'opérateur utilisateur. AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 etcher dispose également d'un outil innovant de vacuumation pour le traitement uniforme des substrats. Cet actif utilise un ensemble de capteurs de débit de gaz intégrés et de modèles CFD pour analyser la répartition de la pression à l'intérieur de la chambre de processus afin d'assurer une bonne uniformité du processus. De plus, un modèle de gestion de substrat permet à l'utilisateur de regrouper des types de films ou d'appareils similaires et d'ajuster les paramètres en conséquence. Enfin, AMAT 8330 etcher est équipé d'une large gamme d'outils de surveillance. Ces outils permettent aux utilisateurs de surveiller en permanence la pression, le débit de gaz et la température de la chambre de traitement, assurant ainsi la cohérence des paramètres de traitement des plaquettes tout au long de la gravure. Ces outils de surveillance sont d'une valeur inestimable pour découvrir toute erreur potentielle dans le processus de gravure et s'assurer que les plaquettes du dispositif sont correctement gravées.
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