Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 8330A / 8330 #9276839 à vendre en France
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ID: 9276839
Taille de la plaquette: 6"
Metal etcher, 6", parts system
Meter reads: 1,542.5 Hours
Make / Model / SCCM / Gases
TYLAN / FC-2900M / 200 sccm / BCL3
TYLAN / FC-2900M / 100 sccm / CL2
TYLAN / FC-2900M / 100 sccm / CF4
TYLAN / FC-2900M / 100 sccm / CHF3
TYLAN / FC-2900M / 100 sccm / HE
TYLAN / FC-260V / 50 sccm / N2
Monitor damaged
Power supply: 208 VAC, 60 Hz.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS 8330A/8330 est un graveur/asher utilisé dans les opérations de fabrication. C'est un équipement rentable et à haut débit qui offre des performances supérieures en ce qui concerne les processus de gravure et de cueillette. Le système est conçu pour traiter plusieurs applications simultanément, permettant une capacité de 8 plaquettes avec une seule opération. La machine est équipée d'une unité de vide avancée qui permet un contrôle précis de la température et du processus pour toutes les tâches de gravure et de cueillette. En tant que machine de gravure, AMAT 8330A/8330 dispose de deux chambres principales, l'une pour la gravure métallique et l'autre pour la gravure isolante. La chambre de gravure métallique fournit d'excellents résultats de gravure anisotrope utilisant les capacités de gravure ionique réactive (RIE). De plus, le contrôle de précision de la pression de la chambre, de la température, du débit de gaz et de la puissance RF est réalisable grâce aux régulateurs de température automatisés intégrés. La chambre de gravure isolante est constituée d'une source de plasma à couplage inductif (ICP) qui permet la gravure de substrats thermiquement stabilisés. Les régulateurs thermiques automatisés assurent un contrôle précis de la température et du processus sur toutes les opérations de gravure. En outre, l'outil est équipé d'un outil avancé de manutention des plaquettes de classe 1000, offrant un chargement rapide des plaquettes, un déchargement et une manipulation, et un alignement des plaquettes qui permet de gagner du temps. En termes de capacités de cendrage, le modèle APPLIED MATERIALS 8330A/8330 dispose d'une configuration de chambre unique, permettant des processus de cendrage rapides et efficaces. La chambre est équipée d'un bateau à quartz et d'un régulateur de température automatisé intégré, qui assure un contrôle précis de la température sur le processus de cueillette. Cela contribue à améliorer l'uniformité, la répétabilité et les rendements des procédés. L'équipement comprend également des diagnostics de panne de processus qui permettent de dépanner rapidement tout dysfonctionnement. Dans l'ensemble, 8330A/8330 est un système de gravure et de cueillette puissant et à haut débit. Avec ses caractéristiques avancées, l'unité fournit un contrôle précis de la température et du processus pour obtenir les meilleurs résultats possibles dans toutes les procédures de gravure et d'ashing. C'est une solution idéale pour les applications avancées de cendrage et de gravure dans une variété d'industries.
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