Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 8336 #9226747 à vendre en France
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ID: 9226747
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1996
Oxide etcher, 6"
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8336 Etcher/Asher est un équipement utilisé par les fabricants de semi-conducteurs et d'électronique pour créer des nanostructures de forme et de taille souhaitées à partir de divers matériaux. Cet équipement est capable de produire des structures à partir de métaux, de polymères, de matériaux de résistance et de diélectriques. AMAT 8336 Etcher/Asher peut effectuer deux formes majeures de techniques de gravure, y compris la gravure par ions réactifs profonds (DRIE) et la gravure anisotrope. La capacité à effectuer la gravure DRIE est essentielle dans la fabrication des MEMS (systèmes micro-électromécaniques) et microfluidiques, en raison de sa grande sélectivité lors de la gravure. La gravure anisotrope permet une vitesse de gravure contrôlable en contrôlant la combinaison des paramètres des processus de gravure, comme la pression, la température et l'utilisation des gaz de gravure. MATÉRIAUX APPLIQUÉS 8336 Etcher/Asher est composé de deux chambres principales ; une chambre de plasma inférieure pour la gravure et une chambre de verrouillage de charge supérieure pour la réception des plaquettes. La chambre inférieure utilise un bouclier Faraday pour protéger la plaquette en cours de traitement contre l'arc et d'autres problèmes liés au plasma, et elle dispose également d'un séparateur en céramique qui aide à maintenir un vide de la chambre de processus jusqu'à 5x10-5 Torr. La chambre supérieure peut contenir un maximum de 15 plaquettes, et elle est équipée d'une cassette à température contrôlée pour le chargement et le déchargement précis des plaquettes. 8336 Etcher/Asher utilise un procédé de gravure en trois étapes, les plaquettes étant revêtues d'une couche de résine photosensible, modelées selon la conception souhaitée, puis gravées soit par une gravure ionique réactive profonde (DRIE), soit par une gravure isotrope. Au cours du procédé, différents gaz sont utilisés, tels que l'oxygène, le fluor et l'azote, mélangés à une puissance RF réglable entre 0 et 300 Watts. AMAT/APPLIED MATERIALS 8336 Etcher/Asher dispose également d'un système de régulation de température intelligent qui surveille et ajuste la température à l'intérieur de la chambre de procédé, assurant un chauffage uniforme tout au long de l'opération. Ce système comprend également une fonction de protection contre les températures excessives, qui peut être réglée pour interrompre le processus de gravure en cas d'élévation excessive de température. AMAT 8336 Etcher/Asher comprend des composants supplémentaires conçus pour améliorer la précision et la qualité des résultats, comme une fenêtre de visualisation pour la surveillance pendant le processus de gravure, et la capacité d'enregistrer les paramètres de processus précédents pour des résultats reproductibles. En outre, APPLIED MATERIALS 8336 Etcher/Asher est certifié compatible avec plusieurs normes de sécurité, telles que ANSI/IEEE/UL-CSA-499, UL-60079 et NFPA70. Toutes ces caractéristiques et considérations de sécurité se combinent pour faire de 8336 Etcher/Asher un choix fiable et efficace pour les opérations de gravure et de cueillette.
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