Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 8336 #9250132 à vendre en France
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ID: 9250132
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1996
Oxide etcher, 6"
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8336 etcher/asher est un équipement polyvalent conçu pour une variété de procédés de gravure, nettoyage et ashing. Le système utilise la dernière technologie de plasma RF et fournit les plus hauts niveaux d'uniformité et de répétabilité, permettant un contrôle de processus serré et des temps de cycle rapides. L'unité est composée de plusieurs composants, dont un générateur RF, une tête asher/tour, une chambre/cuve de traitement, des gaz de traitement et de l'équipement sous vide. Le générateur RF avancé AMAT 8336 fournit de l'énergie de procédé à l'Asher Head, ce qui crée efficacement le plasma nécessaire aux processus de gravure et de nettoyage. La chambre/cuve maintient le substrat de la plaquette et protège la tête asher et les gaz de procédé de la contamination. Les gaz de procédé contrôlés par l'utilisateur sont canalisés à travers des buses, commandées par la tête Asher, pour revêtir les zones appropriées du substrat. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'équipement sous vide 8336 comprend tous les composants de la chambre du substrat et maintient l'environnement sous vide, contribuant à des temps de cycle rapides. 8336 peut graver et nettoyer une variété de matériaux, y compris le silicium, le silicium polycristallin, le verre, le diélectrique bas k, les métaux, la résiste, l'oxyde et le nitrure, ce qui permet un traitement précis. Sa technologie exclusive Cross-Ladder supporte un débit plus élevé avec une uniformité de gravure extrêmement serrée. En outre, il peut obtenir une gravure à haut rapport d'aspect, jusqu'à 100:1, ce qui le rend idéal pour les applications de processus plus avancées. La machine offre également une gamme de capacités de surveillance des processus, y compris des analyseurs de gaz in situ, la détection des points d'extrémité et la cartographie des plaquettes pour donner aux utilisateurs le contrôle total de leurs processus de gravure/ashing. En outre, l'outil intelligemment contrôlé aide à minimiser les coûts de main-d'œuvre et à réduire les goulets d'étranglement dans le processus de production. AMAT/APPLIED MATERIALS 8336 etcher/asher est un atout fiable et polyvalent, capable d'obtenir des résultats de gravure et de nettoyage précis et reproductibles avec des performances élevées. Ses capacités supérieures de contrôle des processus, de technologie avancée et de surveillance se combinent pour garantir aux utilisateurs les meilleurs résultats de qualité tout en économisant du temps et de l'argent.
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