Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS AME 8100 #9178965 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS AME 8100 est un Asher/Etcher, conçu pour enlever de façon fiable et précise le matériau de la surface d'un substrat. L'équipement utilise une grande variété de gaz de gravure tels que le bromure d'hydrogène, le chlorure d'hydrogène et le SF6 dans le processus de gravure. Il intègre le matériel et le logiciel Endura de pointe pour le contrôle de la température critique, de la pression et de la composition des gaz du procédé de gravure. Le système est capable de traiter une variété de matériaux tels que le silicium, l'arséniure de gallium et l'oxyde de silicium dans des substrats de plaquettes jusqu'à 8 "de diamètre. AMAT AME 8100 offre un contrôle précis des paramètres de processus pour fournir les vitesses de gravure et l'uniformité souhaitées. Grâce à la surveillance des procédés en temps réel, l'unité maintient un contrôle répétable de la température et une exposition uniforme du substrat aux gaz de gravure. Il dispose de configurations de gravure diffuse et à distance contrôlables pour assurer une couverture complète de la géométrie de l'appareil. En plus du contrôle du processus, la machine offre également des options de chargement de substrat flexibles et des capacités innovantes de chargement de barres d'attaque à deux faces. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'AME 8100 offre une homogénéité de processus supérieure, avec un débit élevé et une faible production de particules. Pour les exigences de gravure de spécialité, l'outil offre une capacité de codage de masque de précision et une variété de gaz de procédé de gravure de spécialité. L'actif intègre également des fonctionnalités supplémentaires telles que l'enregistrement de l'exécution des processus, la traçabilité des processus et la gestion automatisée des recettes pour optimiser les processus de gravure. En conclusion, l'AME 8100 est un graveur/asher fiable et précis conçu pour traiter une variété de matériaux. Il dispose d'un contrôle avancé de la température, de la pression et de la composition des gaz, d'une surveillance des processus en temps réel, de gaz de processus spécialisés et de caractéristiques supplémentaires telles que la journalisation et la traçabilité de l'exécution des processus. Avec une homogénéité de processus supérieure et une faible génération de particules, AMAT/APPLIED MATERIALS AME 8100 est sûr de répondre à tous vos besoins de gravure.