Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS AME 8330 #9226105 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS AME 8330 est un sous-appareil de gravure de modèle avancé utilisé pour la gravure de couches minces de matériau. Il est capable d'effectuer une gravure haute performance et de grande surface de divers matériaux tels que le silicium polycristallin, le silicium amorphe et le silicium/germanium. AMAT AME 8330 etcher/asher permet la production d'une large gamme de structures au niveau des appareils électroniques. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'AMA 8330 est un graveur à sec renforcé par plasma avec une pression dans la chambre de procédé allant de 0,01 mbar à 1,6 mbar. La taille de la plaquette peut aller de 300mm à 450mm. La chambre abrite un collecteur de gaz à 7 réglages qui peut être utilisé pour divers procédés de gravure tels que la gravure sèche ou humide, le dépôt et l'ashing. Les 7 réglages de gaz supportent des gaz tels que l'oxygène, l'azote, l'argon, le chlore et le tétrafluorure de silicium (SiF4). Cela permet aux utilisateurs de réaliser des processus en plusieurs étapes impliquant à la fois des processus de gravure et de dépôt. Le système dispose d'une source magnétron de forte puissance avec un réglage de puissance réglable allant de 50W à 400W, permettant un contrôle précis de la puissance vers le substrat. Il dispose également d'un entraînement à haut couple qui permet un mouvement rapide des plaquettes. La température dans la chambre de procédé peut être ajustée au besoin, allant de la température ambiante à 300 ° C L'AME 8330 est équipé de plusieurs outils de diagnostic pour faciliter l'analyse en cours de processus. Il s'agit notamment d'une jauge ionique indépendante avec une unité de contrôle de pression de haute précision, ainsi que d'un spectromètre d'émission qui peut être utilisé pour surveiller les gaz de procédé et d'autres caractéristiques des matériaux. De plus, il dispose d'une machine de surveillance des plaquettes vidéo qui peut être utilisée pour suivre les conditions des échantillons au cours d'un processus. Cet etcher/asher est hautement automatisé et convivial, ce qui le rend adapté à un large éventail de recherches et d'applications. L'outil de contrôle logiciel permet aux utilisateurs de programmer des séquences complexes, et le logiciel intégré offre la flexibilité d'économiser des recettes et des séquences de gravure personnalisées. L'actif intègre également un logiciel de gestion des recettes pour stocker les recettes stockées et les conditions de gravure. En outre, les utilisateurs peuvent télécharger des données sur un lecteur local pour une analyse plus approfondie. En conclusion, AMAT/APPLIED MATERIALS AME 8330 est un graveur/asher de modèle avancé conçu pour produire une large gamme de dispositifs électroniques avancés et de structures d'échantillons. Il est conçu pour une gravure efficace et uniforme, avec une précision, un contrôle et un débit élevés. Avec son interface conviviale, son logiciel puissant et ses outils intégrés, AMAT AME 8330 est un modèle idéal pour graver des processus d'une gamme de matériaux.