Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS AME8111 #9148207 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS AME8111 est un graveur/asher de précision utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs et les processus de recherche. Il est le graveur/asher le plus avancé disponible dans sa classe, offrant un processus de gravure précis et reproductible avec une uniformité supérieure. La chambre de gravure est configurée avec une conception de montage de paroi verticale unique, fournissant un débit de gravure maximum et la taille du substrat de 8 « x 8 ». L'uniformité du procédé de gravure est améliorée avec un générateur de plasma haute densité intégré capable de générer des conditions plasmatiques haute densité avec un minimum de 1,5 torr de pression plasmatique. Le système de livraison chimique avancé AMAT AME8111 est capable d'utiliser un à quatre gaz pour graver une variété de matériaux. Cela en fait un outil très flexible pour différentes applications de gravure, telles que l'isolation de tranchées peu profondes, la coupe de contact, ou la gravure de contact dans MOSFET ou les dispositifs de jonction ultra peu profonds. Il comprend également une capacité de gravure de polarisation augmentée, et une compensation de puissance de polarisation latérale pour aider au contrôle critique de la profondeur de gravure. APPLIED MATERIALS AME8111 est équipé d'un circuit de surveillance de puissance breveté AMAT, qui assure un contrôle précis des paramètres du processus. Il a également la capacité de stocker jusqu'à 50 recettes de processus, donnant à l'opérateur la flexibilité de changer entre les recettes de processus rapidement et avec précision. L'interface opérateur est facile à naviguer avec une interface utilisateur graphique intuitive. AME8111 est un outil idéal pour graver une variété de substrats, y compris les métaux et les silices tels que les substrats à quartz. Il est revêtu d'un polymère fluoré inerte résistant aux gravures, ce qui le rend très résistant aux produits chimiques corrosifs. Sa géométrie innovante d'injection d'ions radiaux réduit les effets négatifs de la charge de surface sur les échantillons, ce qui conduit à une gravure plus uniforme. De plus, son haut débit et ses résultats précis font d'AMAT/APPLIED MATERIALS AME8111 un excellent choix pour les applications de recherche. AMAT AME8111 dispose également d'une station de nettoyage des substrats avant gravure. Dans l'ensemble, APPLIED MATERIALS AME8111 gravure/asher est un outil fiable et polyvalent pour une large gamme de procédés semi-conducteurs. Son processus de gravure précis et répétable, son système de livraison de produits chimiques flexible et son interface utilisateur intuitive en font une unité hautement productive et fiable. La vitesse de gravure élevée, l'uniformité et les caractéristiques spécialisées en font l'outil idéal pour graver les structures sensibles telles que les jonctions ultra-peu profondes avec des dommages minimes.