Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centris AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly #293638906 à vendre en France
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MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centris AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly est un graveur/asher de pointe utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Le Mesa T2 Poly est un équipement qui fournit une précision de gravure de classe mondiale, uniformité et contrôlabilité, ainsi qu'une vitesse de gravure et une réactivité inégalées. Le Mesa T2 Poly est conçu pour un large éventail d'applications, allant de la gravure diélectrique à un seul niveau à la gravure complexe de diélectriques à plusieurs niveaux, de silicium polycristallin et de métaux. Le système dispose également d'une grande fenêtre de traitement avec une grande capacité de surface, permettant un débit et une productivité élevés. Le Mesa T2 Poly a une source de plasma intégrée et des recettes de gravure haute performance et peut graver avec du gaz réactif et des plasmas de gaz ionisé. Les fonctions intégrées de contrôle des processus de l'unité assurent un contrôle précis des processus et une gravure en douceur des caractéristiques de ratio d'aspect élevé. La machine utilise un contrôle précis de la vitesse de gravure et du profil de bord, lui permettant d'obtenir des profils et des couches précis avec une grande uniformité de gravure. Le Mesa T2 Poly est conçu sur une plate-forme flexible et peut être équipé d'une variété de sources de gaz de gravure telles que N2, NF3, O2, Ar, SF6 et CF4, assurant un contrôle précis et la flexibilité dans la gravure d'une large gamme de métaux et de diélectriques. L'outil utilise la dernière technologie de positionnement des sources et des substrats de plasma pour un contrôle et une précision inégalés dans la gravure des lignes fines, des caractéristiques de rapport d'aspect élevé et des géométries tridimensionnelles complexes. L'actif dispose également d'un modèle automatisé de livraison de matériel pour une livraison rapide et fiable du matériel à l'équipement. Le Mesa T2 Poly est équipé de systèmes de sécurité avancés et de dispositifs de sécurité, y compris un interrupteur d'arrêt d'urgence et des barrières de confinement pour protéger le personnel contre les matières dangereuses ou les particules produites lors de la gravure. Le système dispose également d'une interface utilisateur conviviale et d'un logiciel de diagnostic pour fournir des résultats de processus impeccables et la fiabilité. En résumé, l'AMAT Centris AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly est un graveur/asher de pointe conçu pour fournir un contrôle précis, un débit élevé et une vitesse de gravure et une réactivité inégalées. L'unité est un excellent choix pour les applications qui nécessitent une gravure précise des lignes fines, des caractéristiques de rapport d'aspect élevé et des géométries tridimensionnelles complexes avec une extrême précision.
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