Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centris DPS MESA #293779107 à vendre en France
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MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centris DPS MESA est un graveur/asher utilisé pour les processus critiques de gravure/ashing des semi-conducteurs. Il s'agit d'un outil d'automatisation qui répond aux exigences mondiales en matière de précision, de répétabilité et de sécurité, en soutenant les opérations multi-navires et multi-zones. AMAT Centris DPS MESA utilise des technologies avancées de distribution d'ozone (ODS) et d'auto-alignement à double plasma (DPSA), ce qui permet de graver avec précision les caractéristiques les plus complexes des plaquettes à semi-conducteurs. Le DPS MESA dispose d'un contrôle de température avancé pour obtenir un profil thermique optimal tout au long du processus, et ses options uniques pour l'automatisation et la traçabilité aident à améliorer le débit et maximiser l'utilisation fab. Le système automatisé de contrôle du processus de l'outil permet une surveillance et un contrôle robustes du processus, permettant des taux de gravure plus rapides et une meilleure précision du processus. Une armoire à gaz avancée pour la commutation rapide des gaz, ainsi qu'un régulateur de liquide à entraînement direct intégré, offrent des résultats de gravure cohérents et une dérive de processus minimisée. La fonction DPSA permet également des opérations composites de gravure/cendres qui peuvent être précisément adaptées aux applications clients. Les capacités de vide élevé de l'unité assurent un processus propre et reproductible. La machine d'évacuation avancée intégrée élimine la plupart des gaz et des fumées créés pendant le processus de gravure/cendres, et les puissantes pompes de rugissement et de diffusion réduisent les temps de cycle de processus. L'outil est conçu pour être intégré dans un outil de cluster, permettant le traitement simultané de plusieurs plaquettes, et l'actif de pré-cartographie en option permet un placement optimal de l'échantillon pour un débit plus rapide. Le générateur intégré du modèle permet la télécommande de l'unité, et ses caractéristiques de sécurité avancées protègent les utilisateurs pendant le fonctionnement. Dans l'ensemble, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centris DPS MESA fournit une solution de gravure et d'ashing efficace et polyvalente pour les produits semi-conducteurs. Ses technologies de pointe, la sécurité et l'automatisation des équipements de pointe, et une productivité élevée sont sans précédent dans l'industrie, ce qui en fait un choix idéal pour toute application de semi-conducteurs.
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