Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centris G5 Mesa #293627633 à vendre en France
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ID: 293627633
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2015
Etcher, 12"
Process: Poly etch
(6) Chambers
(4) Load ports
Gases: Cl2, HBr, CHF3, SiCl4, CH4, O2, N2, Ar, He, CF4
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centris G5 Mesa etcher/asher est un équipement de pointe conçu pour la gravure et la cueillette d'une gamme de matériaux divers, y compris le silicium, les métaux et les polymères. Le Centris G5 est l'un des systèmes de graveur/asher les plus avancés sur le marché, capable de gravure précise, ashing, et le bricolage avec une large gamme de matériaux. Le système dispose d'une plate-forme tout-en-un autonome avec un design modulaire automatisé, permettant l'intégration directe des composants et des instruments, y compris les chambres Veeco etcher, les tiroirs à vide Varian/RHT, et une tête de chauffage. Le Centris G5 dispose d'une variété de chambres de processus intégrées, chacune conçue pour traiter un type de matériau différent et satisfaire à des exigences de processus spécifiques. Les gravures et cendres focalisées sont capables de réaliser des trous et des tranchées précis, qui sont définis par les substrats définis par l'utilisateur. Les matériaux traités vont du silicium, des métaux et des polymères à la conception de photomasques et à la conception de motifs non conformes. Le Centris G5 dispose également d'un générateur hyperfréquence multifréquence, permettant une gravure haute fréquence avec une définition plus large et une gamme de rapports d'aspect plus large. Le traitement à grande surface des plaquettes permet un plus grand débit volumique, permettant de traiter jusqu'à quatre substrats de tailles différentes en un seul cycle de gravure. L'unité Centris G5 est également équipée de fonctionnalités qui augmentent les rendements et réduisent les temps de cycle, y compris la fonction de nettoyage automatisé TruClean pour assurer l'intégrité et la propreté du substrat. En outre, la machine utilise un nettoyage plasma de haute uniformité avec des flux de gaz constants pour des cycles de gravure plus rapides. Le Centris G5 est conçu pour un débit élevé, ce qui donne un temps de cycle 20-30 % plus rapide que la moyenne du marché. L'outil offre jusqu'à 100 watts de puissance de gravure de pointe, permettant un traitement de haute précision et de grande surface tout en maintenant des tolérances serrées et un emplacement de gravure précis. Utilisant une automatisation de haut niveau, un contrôle de précision et des capacités d'actifs avancées, AMAT Centris G5 Mesa est l'outil idéal pour graver et aspirer un large éventail de matériaux. La conception modulaire automatisée augmente le débit tout en offrant la flexibilité et la capacité de traitement de différentes tailles de substrat avec une grande précision. Le modèle hautement intégré fournit également un rendement accru, la propreté, et le temps de cycle, ce qui en fait l'outil idéal pour toute application de graveur/asher à forte intensité de processus.
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