Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centris G5 Mesa #293627635 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Centris G5 Mesa est un équipement Etch/Asher utilisé pour le transfert rapide et précis des matériaux dans les applications de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un système de type processus par lots conçu avec des modules de processus de gravure et de cendres. L'unité offre des processus avancés de gravure/anders en plusieurs étapes dans un ensemble très fiable et rentable. L'AMAT G5 est doté d'une technologie à double chambre, permettant des processus de gravure et de cendres dans la même machine. L'alimentation intégrée utilise une configuration unique de commutateur « High Current High Power » (HCHP), qui lui permet d'alimenter jusqu'à 50A en une seule alimentation, permettant des processus de gravure et de cendres efficaces et répétables. En outre, l'outil est livré avec un module optionnel de prétraitement in situ O2, qui peut être ajouté pour accélérer considérablement les temps de mise en place du processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS G5 est capable de réaliser des processus de gravure et de cendres extrêmement précis et reproductibles grâce à son actif avancé de masquage de faisceau à deux lignes, de contrôle d'obturateur haute résolution et de contrôle actif de la température du substrat. Il a un modèle robuste de gestion de la température qui offre de -40 à 200 ° C plage de température et se stabilise à 1⁰C précision de consigne. De plus, le contrôle des procédés fins est rendu possible par sa capacité à activer et à désactiver le flux d'azote au niveau de la sous-milliseconde. AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'équipement de gravure et de cendres G5 a également une grande surface de traitement, avec jusqu'à 500 mm de surface de wafer. Il supporte jusqu'à 25 plaquettes à la fois, augmentant le débit et permettant un traitement rapide et efficace des lots. De plus, grâce à sa fonction de diagnostic en chambre, le système permet de surveiller les conditions de chambre en temps réel afin de détecter les pannes précoces et les alarmes. La sécurité est assurée grâce à une large gamme de capteurs. AMAT G5 Mesa est une machine de gravure/cendres innovante spécialement conçue pour l'industrie des dispositifs semi-conducteurs. Sa fiabilité robuste, sa productivité, son contrôle des processus et ses caractéristiques de sécurité en font un choix idéal pour une large gamme d'applications de gravure et de cendres.