Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centris #9394694 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Centris est un graveur et asher conçu pour fournir un traitement des plaquettes de haute précision. L'etcher est capable de traitement propre et répétable de différents types de matériaux avec un faible coût de propriété. AKT Centris Etcher utilise une gamme de technologies sophistiquées de contrôle des processus et des profils de gravure spécifiques aux matériaux pour une gravure précise à chaque fois. L'équipement dispose d'un petit facteur de forme qui maximise l'utilisation dans un espace limité et peut gérer plusieurs plaquettes de différentes tailles. AMAT Centris dispose d'un système de contrôle intégré unique, facile à utiliser et à surveiller. Le contrôleur combine le positionnement manuel et automatique de la chambre de précision, les verrous d'isolement intégrés, la surveillance de l'environnement visuel, le contrôle intégré de la température et de la pression et la surveillance des processus en temps réel avec des graphiques pour la surveillance de l'état de l'unité. Cela permet un contrôle précis des processus et des machines et des chambres de processus segmentées et des chambres à double zone thermique qui optimisent les performances de traitement. L'outil est également équipé de l'APT (Advanced Plasma Tracking), qui surveille la position exacte du processus de gravure et d'ashing à l'aide d'un atout unique de coordonnées à trois axes. Ceci permet de cibler précisément la gravure sur le substrat et élimine les balayages de profil de bord cible lors de la gravure. Le modèle est également équipé d'un équipement de gravure de source contrôlé par PC qui permet d'optimiser les données de profil de couche et d'adapter les couches de gravure de substrat ciblées. En outre, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centris etcher a amélioré l'optimisation du profil cible pour permettre l'exécution précise des modèles de processus. Sa construction entièrement métallique le rend très fiable et peu entretenu. Les boîtiers doubles avec filtration en cascade permettent des résultats de processus sans contamination, de haute qualité, même pour le traitement par lots avec de longues séries. Dans l'ensemble, le système fournit une gravure et un cendrage de haute précision avec une répétabilité de qualité et un traitement stable pour le traitement des plaquettes semi-conductrices.