Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Metal #293802318 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura AP AdvantEdge G5 Metal est un système de gravure conçu pour fabriquer des appareils nécessitant des longueurs de gravure à haut rapport d'aspect et une grande uniformité de gravure X-Y. Doté d'une cellule de travail robotisée, cet etcher est capable de fournir un contrôle précis et répétable des processus, ce qui est essentiel pour les dispositifs MEMS et semi-conducteurs haute performance. AMAT Centura AP AdvantEdge G5 Metal comprend un outil de gravure humide ou sèche qui peut être configuré pour répondre à diverses exigences de processus. Le procédé de gravure est alimenté par une source de plasma ECR avancée avec la manipulation des plaquettes chaudes, fournissant un faible coût de propriété et des débits élevés pour la production de masse. En outre, la source de plasma ECR est capable de fournir une haute sélectivité et une excellente qualité de gravure tout en minimisant la contamination. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura AP AdvantEdge G5 Metal supporte une large gamme de matériaux tels que le cuivre, le tungstène et le silicium polycristallin, et permet un contrôle précis du profil de gravure et de la taille des caractéristiques. Il dispose d'un sous-système de rétroaction numérique breveté pour un contrôle précis et répétable de la pression, de la température et du débit, lui permettant de satisfaire à des tolérances strictes et à des exigences d'uniformité. Centura AP AdvantEdge G5 Metal dispose également d'une commutation centrifuge avancée et d'un préaligneur de plaquettes, qui sont des caractéristiques importantes pour la fabrication avancée de dispositifs microélectroniques. La centrifugeuse permet aux utilisateurs de changer les recettes de gravure à la volée sans avoir à réaligner chaque plaquette avant le traitement. Le préaligneur de plaquettes assure un positionnement précis des plaquettes avant la gravure et offre la flexibilité nécessaire pour traiter avec précision les configurations multi-plaquettes d'une seule course. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura AP AdvantEdge G5 Metal est un système de gravure intégré à guichet unique qui est capable de gravures à haut rapport d'aspect avec des tailles de caractéristiques allant de 0,2 mu à 5 mu. Il utilise des matériaux de qualité supérieure tels que l'architecture des chambres en céramique, des masques de semence et de parage métalliques avancés et des éléments chauffants en céramique pour assurer un contrôle optimal du processus, une répétabilité maximale et un rendement supérieur. De plus, l'etcher comprend une recette complète et des fonctionnalités logicielles pour l'acquisition de données, le diagnostic et l'optimisation des processus.