Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS #9296966 à vendre en France

MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura AP DPS est un équipement entièrement automatisé de graveur/asher conçu pour produire des caractéristiques ultra propres et précises à des vitesses compétitives. Un système réticulé avancé permet de programmer et d'exécuter sans effort des recettes de gravure multiples, tandis que la conception de chambre à double processus permet des processus dos à dos en une seule étape de gravure. Utilisant un plasma puissant avec une capacité RIE haute pression, AMAT Centura AP DPS est capable de produire des caractéristiques de ratio d'aspect élevé avec un effet de chargement minimal et des angles de flanc précis. En outre, cette unité est conçue pour fournir une flexibilité de processus flexible avec une variété de produits chimiques de processus disponibles, ainsi que des options de surveillance de processus pour assurer des performances sans défaut et reproductibles. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura AP DPS offre un logiciel intuitif et un contrôle N2/O2/SF6 avancé, permettant à l'opérateur de comprendre facilement les gravures et de changer de chimie. Centura AP DPS est équipé d'une chambre à vide conçue pour la gravure RIE globale, ainsi que d'une fonction de dégazage cryogénique à basse température pour la gravure métallique avancée. Il dispose également d'une pompe à fente intégrée capable d'une large gamme de pressions et de niveaux de vide, ainsi que d'une chambre remplaçable pour un entretien facile. La machine comprend également plusieurs utilisateurs pour accueillir des membres de l'équipe ayant une expérience et des processus différents. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura AP DPS est compatible CMOS et peut produire des largeurs de ligne allant de 0,1 à 5µm, un rapport d'aspect linéaire allant jusqu'à 20:1 et un contrôle de profondeur allant jusqu'à 8µm. Un outil de commande intégré composé d'un panneau de gaz, d'un générateur de puissance et d'un moniteur in situ du rotor permet un contrôle dynamique du processus et des réglages précis. Cet actif est également équipé d'un modèle de nettoyage automatisé qui utilise un équipement intégré de gestion de la chimie pour un nettoyage efficace et un système automatisé de manutention des plaquettes pour les processus en série. Avec AMAT Centura AP DPS, les utilisateurs peuvent s'attendre à des fonctionnalités ultra propres et précises avec et sans support. Cette unité s'avère être un excellent choix pour ceux qui recherchent une gravure/asher pour la recherche et le développement, ainsi que des exigences de production recherchées.