Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesa #9390583 à vendre en France
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MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesa est une technologie avancée de nouvelle génération de graveur/asher pour la technologie de réduction constante et les dispositifs semi-conducteurs. Cet équipement de production intègre le fraisage et la gravure haute vitesse avancés ainsi que la gravure photorésist dans un environnement ultra-précis, offrant des performances de précision et de répétabilité élevées au niveau des sous-microns. Il utilise une architecture robotique avancée multi-stations, utilisant une opération en deux étapes, incorporant un procédé de gravure chimique pour éliminer les matériaux indésirables. Le système est construit avec une architecture à cadre ouvert pour s'adapter à plusieurs outils de processus dans un petit cadre extérieur, ce qui en fait un choix idéal pour la recherche et la production de nanotechnologies et de semi-conducteurs avancés d'aujourd'hui. En outre, une puissante unité de contrôle en boucle fermée (CLCS) est intégrée à la machine, permettant le contrôle complet et l'automatisation du processus de production. Cela garantit que l'outil fonctionne avec des performances optimales et produit des rendements cohérents. AMAT Centura DPS II etcher/asher fournit une large capacité pour les processus de gravure et ashing, ce qui permet la production des produits les plus avancés et de la plus haute qualité. Il est équipé d'un atout de livraison de gaz offrant une compatibilité de gaz de haute pureté et une capacité de mélange de gaz. Le modèle est entièrement compatible avec les vecteurs chimiques APPLIED MATERIALS P5000, DPS et E3, avec la possibilité d'accepter plusieurs ensembles de paramètres de flux de gaz personnalisés. En outre, AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II etcher/asher est capable de manipuler des tailles de lots jusqu'à 200 plaquettes par cycle de processus, ce qui en fait un choix idéal pour des environnements de production à haut volume. Grâce à sa capacité avancée, il est possible de collecter et de tracer facilement des données, ce qui facilite l'interprétation et la comparaison des données de processus. L'équipement dispose d'un système de sécurité robuste offrant des possibilités d'alarme à distance et d'arrêt automatique. La machine est également équipée des outils de diagnostic les plus récents, tels que Advanced Yield Reports, OCR/Loop Tracking, Vacuum Status, Process Cycle Monitor et Total Event Monitor. Un kit de simulation de processus est également intégré pour l'optimisation des processus/outils et pour faciliter le développement de recettes adaptatives. AMAT Centura DPS II etcher/asher est conçu pour être un etcher/asher fiable et performant pour les procédés semi-conducteurs de pointe.
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