Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa #293586295 à vendre en France
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MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura DPS II Mesa Asher/Etcher est un équipement de gravure et de cueillette de grande capacité conçu pour le dépôt de couches minces et de jonctions ultra-peu profondes dans le traitement des semi-conducteurs. Ce système utilise deux chambres de processus distinctes et contrôlables indépendamment pour permettre la gravure de plusieurs couches avec des paramètres différents. Le DPS II Mesa Asher/Etcher est équipé de deux chambres indépendantes de réaction et de diffusion de l'aluminium qui permettent la gravure simultanée de deux couches distinctes avec des paramètres de gravure différents. Les chambres sont chargées de substrats, une chambre amont et une chambre aval étant utilisées pour la gravure. Une unité de transfert chauffée est utilisée pour déplacer les plaquettes entre les chambres séparées. La machine est conçue pour des applications dans le domaine des technologies semi-conductrices avancées, y compris la formation de dispositifs tels que la gravure diélectrique poly-cristalline empilée SiON et jonctions ultra-peu profondes, arrière-bout de ligne (BEOL), Cu/low-K, et d'autres applications. L'outil offre une gravure ultra-précise et à grande vitesse jusqu'à 50 mm de plaquettes en une seule fois. Il offre aussi l'uniformité optimale de jusqu'à ±0.2 % sur un large éventail de conditions. Le DPS II Mesa Asher/Etcher est équipé de plusieurs technologies dont le contrôle ActiveProcess™, qui surveille et maintient en temps réel le contrôle de la profondeur et de l'uniformité des gravures in situ. Cette technologie permet à l'actif de maintenir la précision de la recette et des rapports d'uniformité entre plaquettes supérieurs à 1 %. Le modèle est également équipé d'OptiFlo Plus™, qui fournit des gaz de procédé aux deux chambres en utilisant une combinaison de haute pression, basse pression, à distance et injection directe de gaz. L'équipement de distribution de gaz est résistant à la flamme et à faible bruit, ce qui réduit les émissions et augmente donc la sécurité dans l'environnement de travail. Globalement, l'AMAT Centura DPS II Mesa Asher/Etcher fournit une solution fiable, précise et à haut débit pour les applications de gravure et de cueillette de semi-conducteurs. Utilisant des paramètres de processus contrôlés optiquement, une manipulation polyvalente du substrat et une cartographie in situ de la profondeur, le système est bien adapté au traitement et à la fabrication avancés des appareils.
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