Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal #9274959 à vendre en France
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ID: 9274959
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Metal etcher, 12"
EFEM (YASKAWA)
(3) G2 Metals
Axiom (VODM)
AC Rack
Side storage
(3) SMC Chillers
(2) Cathode chillers
Utility box
Tote
2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal est un équipement de graveur et asher à plasma sec spécialement conçu pour traiter les matériaux à base de semi-conducteurs afin de créer diverses structures de dispositifs. Le système est capable de produire des résultats précis de gravure et de cueillette avec la plus grande précision et précision. AMAT Centura DPS II Metal peut compléter les processus de gravure et d'ashing pour les couches métalliques et diélectriques ainsi que pour une variété de structures de dispositifs différents tels que les trous de contact, les piles de grille et les régions de diffusion structurées. Il utilise un procédé de gravure avancé appelé dépôt chimique en phase vapeur enrichi par plasma (PECVD) pour graver et traiter le matériau, qui est ensuite suivi d'un procédé de dépôt. Ce procédé de gravure avancé est capable de fournir une sélectivité et des taux de gravure élevés pour un large éventail d'exigences d'application. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS II Metal atteint ses performances précises grâce à une variété de caractéristiques de conception sophistiquées. Ces caractéristiques comprennent sa chambre de traitement à plasma avancée qui est conçue pour assurer une gravure uniforme sur une large gamme de tailles et de structures de substrat. Le réseau d'appariement RF 10kW est une caractéristique unique de l'unité car il permet aux opérateurs d'ajuster le processus de gravure à une variété de substrats et de conditions de processus différents. D'autres fonctionnalités avancées de la machine comprennent sa capacité de réduction optique avancée, qui aide à fournir une surveillance avancée sur l'ensemble du processus de gravure, ainsi que sa technologie brevetée de gravure ionique réactive (RIE) qui permet une gravure uniforme sur une grande surface. Le Centura DPS II comprend également une gamme d'outils de traitement de substrat pour améliorer encore ses capacités. Ces outils comprennent une chambre de substrat auto-nettoyante, qui élimine efficacement les contaminants pendant le processus de gravure et de cueillette, et une capacité de bombardement ionique intégrée qui peut être utilisée pour accélérer la vitesse de gravure du processus. Une unité de régulation de température optionnelle est également disponible permettant à l'opérateur de traiter une grande variété de matériaux sur une large plage de température de traitement. Centura DPS II Metal est un outil de gravure et d'ashing hautement fiable avec des performances supérieures. L'atout est également extrêmement convivial avec son interface graphique intuitive qui permet aux opérateurs de bien comprendre le processus de gravure. Avec ses caractéristiques de traitement avancées, AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal peut fournir le plus haut niveau de précision et de précision dans la gravure et l'ashing d'une large gamme de matériaux, ce qui en fait un modèle idéal pour le traitement et le développement de dispositifs à base de semi-conducteurs haute performance.
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