Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly #9275303 à vendre en France
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ID: 9275303
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Poly etcher, 12"
EFEM
TM
(3) DPS2
Axiom
AC Rack
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly est un graveur/asher avancé, conçu pour des applications de retravaillement. Il est basé sur la plate-forme Centura etcher et dispose d'un processus unique en deux étapes qui permet une gravure rapide et l'élimination efficace d'une variété de matériaux. L'équipement est conçu avec une double fonction de rotation, permettant un traitement fiable et répétable avec uniformité et contrôle. Cela permet à tous les aspects de la gravure, tels que le contrôle de sélectivité, le temps de processus, la puissance du faisceau, le mélange de gaz et les réglages de gaz de processus d'être précisément adaptés pour maximiser le débit de processus avec une précision et une qualité de gravure maximales. AMAT Centura DPS II Poly dispose d'une source ionique réactive double source (RIE) contenant deux sources distinctes, qui disposent d'un contrôle indépendant de la pression respective du réacteur, de la puissance plasmatique et du contrôle de fréquence RF. Ceci assure un contrôle précis de la profondeur de gravure et une gravure uniforme. Le système comprend également une surveillance intégrée des processus, permettant aux utilisateurs de personnaliser le processus de gravure, de surveiller l'assurance de la qualité et d'analyser les résultats pour garantir des résultats optimaux. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS II Poly dispose également d'une conception avancée qui comprend une source de plasma et une chambre d'anode séparées, une alimentation complémentaire à double fréquence, un étage de plaquette et une unité de serrage à commande de précision, et une machine dynamique de distribution de la source de gaz. Cet outil peut fournir des profils de gravure uniformes et la capacité de graver un large éventail de matériaux, y compris les métaux, la céramique, les polymères et les composites. L'actif comprend également une gestion automatisée intégrée des échantillons, ainsi que des outils de processus et de surveillance hautement personnalisables, offrant aux utilisateurs une flexibilité, des processus reproductibles et une productivité accrue. Ce graveur/asher avancé est conçu pour produire un rapport dt/dz élevé, offrant une haute sélectivité de degré pour la gravure de structures de ratio d'aspect élevé. Centura DPS II Poly etcher/asher est conçu pour les applications de la ligne de production industrielle et est robuste et fiable. C'est un choix parfait pour les applications de retravaillement et offre un haut débit avec un contrôle superbe du profil de gravure, des temps de nettoyage rapides et une excellente uniformité. Ce graveur/asher fournit une excellente solution pour la gravure rapide et précise d'une grande variété de matériaux.
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