Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly #9293614 à vendre en France
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ID: 9293614
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Poly etcher, 12"
2006 vintage.
MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura DPS II Poly est un graveur/asher utilisé dans la fabrication de composants semi-conducteurs utilisés pour les microtransistances et autres circuits intégrés. Ce type d'équipement utilise un procédé d'ajout ou d'enlèvement de matière pour former un résultat souhaité. Il s'agit d'un type d'équipement de gravure sèche, c'est-à-dire qu'un vide ou un plasma est utilisé pour enlever le matériau au lieu des gravures liquides. L'etchant peut être un composé organométallique ou un gaz. Il est utilisé principalement pour le traitement du silicium, en particulier des phosphosilicates, et d'autres matériaux diélectriques. AMAT Centura DPS II Poly a un design compact et flexible avec plusieurs caractéristiques qui le rendent bien adapté pour un traitement de haute précision. Il est équipé d'un gros mandrin 4 axes et d'une puissante chambre de gravure capable de débits élevés grâce à son système avancé de contrôle des processus. Cette technologie est conçue pour augmenter la répétabilité des processus et réduire les déchets. La combinaison d'une surveillance et d'un contrôle exhaustifs du processus de gravure garantit des résultats de la plus haute qualité. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le Centura DPS II Poly dispose également d'un mécanisme de chargement des plaquettes dans la chambre, d'une modulation de la largeur des impulsions pour une distribution précise et cohérente des gravures et d'une précision de gravure des sous-microns. En outre, Centura DPS II Poly dispose d'une unité de compensation capacitive multi-zones conçue pour égaliser la surface du substrat et assurer une gravure uniforme. Il dispose également d'une machine d'optique à balayage automatisé pour des performances d'imagerie et de métrologie optimales. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly fournit également un environnement fermé, qui aide à maintenir une chimie de gravure contrôlée et réduit le risque de contamination et de dégazage. Il dispose également d'un outil automatisé de verrouillage de sécurité, qui fournit des mesures de sécurité pour le personnel et les outils. Cet atout est également capable de créer et de stocker automatiquement des recettes, ce qui réduit le temps consacré à la configuration entre les étapes de gravure. AMAT Centura DPS II Poly est l'outil idéal pour une large gamme d'applications de gravure, des structures d'isolation de tranchées peu profondes aux couches de métallisation avancées. Grâce à sa technologie de gravure avancée et à ses contrôles de processus, il est bien adapté aux applications nécessitant une précision et une répétabilité élevées. Ce graveur/asher haute performance est adapté à une utilisation dans le traitement nanoélectronique avancé, ce qui en fait un élément clé du processus de fabrication de composants électroniques contemporains.
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