Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal #9247622 à vendre en France
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Vendu
ID: 9247622
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
DPS Etcher, 8"
Wafer shape: SNNF
EMO Type
Chamber:
Chamber A, B: DPS Metal DTCU chamber
Chamber C, D: ASP+ Chamber
Chamber E: Cool down chamber
Chamber F: Orient chamber
Load lock:
Load lock type: Narrow body
Auto rotation
Cassette type, 8"
Mapping function: FWM
Fast vent option
Vent type: Variable speed
Mainframe:
Platform type: Centura II Etcher
Buffer robot type: VHP
Buffer robot blade: Standard metal
Status light tower
Remote monitor: Table mount
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT Buffer robot
No SMIF
(2) Chillers: HX-150 and Steelhead0
Gas panel configuration: VME1
EBARA ET800WS-A Turbo pump
NESLAB System II Heat exchanger
Front panel
Control rack
Local AC rack
Accessories
Cables
DPS R1 DTCU:
OEM-12B3 RF Generator type
GMW-25 RF Generator type
Gas panel configuration: VME1
EBARA ET800WS-A Turbo pump
Throttle valve
Endpoint: Monochromators
ASP+
Process control: Manometer
Microwave
Smart match
Magnetron head
Applicator
VDS Assembly
Sub-system:
(2) AMAT1 Chillers
(2) HX-150 Chillers
Electrical configuration:
Line voltage: 208 V
Full load current: 320 A
Frequency: 50/60 Hz
CE Marked
2000 vintage.
AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal est un équipement avancé de graveur/asher qui fournit les niveaux les plus élevés de contrôle et de débit de processus pour des applications de précision telles que MEMS et dispositifs semi-conducteurs. Le système repose sur une source multifréquence du PIC et une chambre avancée de dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) à double mode pour optimiser le processus de gravure. En fournissant des rendements toujours élevés, une grande fiabilité et un débit élevé, AMAT Centura DPS Metal obtient d'excellents rendements sous un large éventail de variables. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS Metal est équipé d'une gamme de fonctionnalités qui permettent aux utilisateurs d'obtenir des résultats optimaux. Ces caractéristiques comprennent un contrôle automatisé de la pression et de la température, une source de plasma efficace et une unité de distribution multi-flux. Le contrôle automatisé de la pression et de la température permet un contrôle précis du processus, qui peut être utilisé pour ajuster les paramètres du processus pour des applications particulières. De plus, la source de plasma efficace augmente l'uniformité de gravure et améliore la sélectivité de gravure. La machine de distribution multi-flux assure que les bons gaz et produits chimiques atteignent la chambre aux bonnes concentrations. L'outil peut également effectuer un large éventail de processus de gravure, tels que la gravure sélective des plaquettes, la gravure diélectrique, le nettoyage post-CMP, et la photolithographie avancée. Chaque procédé est conçu pour tirer parti des procédés avancés de gravure plasma de l'actif. De plus, le modèle est capable de graver tous les types de matériaux tels que l'aluminium, le carbone, le silicium, etc. Cette large gamme de capacités de processus rend l'équipement adapté à une variété d'applications, y compris les micro-cavités, MEMS, et les dispositifs semi-conducteurs. Centura DPS Metal offre également une excellente uniformité de procédé. Cette uniformité garantit que toutes les plaquettes sont gravées de manière cohérente, ce qui permet d'obtenir des rendements constants sur l'ensemble du lot. De plus, le système comprend des capacités avancées de surveillance des processus telles que la surveillance visuelle en temps réel et le contrôle du débit de gaz de procédé. Cela permet à l'utilisateur de visualiser et de surveiller le processus en détail, ainsi que de contrôler le processus. Dans l'ensemble, AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal offre un niveau exceptionnel de contrôle des processus, permettant aux utilisateurs d'obtenir des résultats de haute précision quelles que soient les circonstances. En fournissant une gravure plasma avancée, l'uniformité des procédés et le contrôle, l'unité permet des résultats cohérents et fiables, ce qui en fait la solution de gravure idéale pour des applications avancées et de précision.
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