Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal #9276067 à vendre en France
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ID: 9276067
Metal etcher, 8"
C1P1
WBLL
Orient
CD
(2) DPS R0
(2) ASP
AC Rack
Generator rack
Missing parts:
VME Board
Process kit
1996 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS Metal etcher/asher est un équipement de pointe pour la micromachination détaillée, fiable et précise des métaux. Ce système combine la capacité de graver et d'asher les métaux avec la puissance requise pour produire une grande précision, une grande précision et une productivité élevée. Cette unité est capable de graver et asher les caractéristiques métalliques avec des dimensions allant de 2um à 20um dans la taille. La machine AMAT Centura DPS Metal utilise une source de plasma en ligne pour la gravure à sec et la cendre RIE des surfaces métalliques. Dans cet outil, une source d'énergie basse fréquence est utilisée pour maintenir un environnement plasma pour les processus de gravure ou de cueillette. Ce procédé peut être utilisé pour créer des caractéristiques allant de 2um à 20um dans la taille en utilisant des matériaux photorésistants positifs ou négatifs. Le métal est chauffé à la température d'oxydation, à partir de laquelle de l'oxygène est introduit dans le substrat, créant de l'oxyde métallique. L'oxyde métallique est ensuite atténué par des procédés de gravure et de cueillette qui sont adaptés à chaque produit spécifique. Les paramètres du procédé, tels que la pression de la chambre, les produits chimiques gazeux, la puissance RF et la production de plasma, sont surveillés pour assurer la cohérence. Le procédé peut être utilisé sur une variété de films métalliques, tels que le cuivre, le nickel, l'or, l'aluminium, et plus encore. L'actif comprend une variété de fonctionnalités supplémentaires pour assurer la stabilité et la fiabilité du processus. Ces caractéristiques comprennent des technologies avancées de contrôle de la contamination, des systèmes propres et un modèle d'automatisation intégré. L'équipement peut également être intégré à des systèmes périphériques supplémentaires, tels qu'un système de nettoyage post-processus et une station d'alignement laser, pour une performance optimale. L'unité est conçue pour répondre aux besoins des clients en matière de répétabilité et de contrôle des processus. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS Metal etcher/asher est une machine idéale pour des applications telles que la lithographie, les films minces, la micro-fabrication, l'impression 3D, MEMS, et plus encore. Avec sa grande précision, son efficacité, sa répétabilité et ses processus fiables, l'outil garantit que les pièces métalliques répondent aux exigences élevées pour ces applications. AMAT a veillé à ce que l'actif de Centura DPS Metal réponde aux demandes des clients et facilite la production d'appareils et de pièces métalliques de haute performance.
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