Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal #9277563 à vendre en France
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ID: 9277563
Taille de la plaquette: 8"
Metal etcher, 8"
(2) DPS R0 Metal chambers
(2) ASP Chambers
AC Controller rack
RF Rack
(2) AMAT / APPLIED MATERIALS Chillers
NESLAB 150 Chiller
(2) DTCU
Load locks: Wide body LL
Frame: Ph1
HP Robots
Orientor chambers
EDWARD IQDP Pumps
Chuck type: PI ESC
Signal tower
Hard Disk Drive (HDD)
Gas configuration:
DPS: BCl3, Cl2, N2, CF4
ASP: H2O, CF4, N2, O2.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal est une machine de pointe conçue pour le traitement des matériaux dans l'industrie des semi-conducteurs et de la microélectronique. Sa petite taille et ses performances supérieures en font un choix populaire parmi les fabricants de puces. AMAT Centura DPS Metal est capable de réaliser des analyses précises, de nettoyer, de sécher et de graver sur une grande variété de matériaux. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS Metal est conçu pour des applications de haute précision. Il utilise un équipement multi-zones qui assure une répartition précise du débit et un contrôle de la température, permettant une gravure et une cueillette uniformes sur différents substrats. Le système est conçu avec un contrôle de mouvement avancé, assurant une formation de couche cohérente et précise. L'unité est également équipée d'une source RF couplée capacitivement (CCRF) pour améliorer le contrôle des processus, augmenter le débit et améliorer la précision. Centura DPS Metal dispose également de capacités de nettoyage et de séchage avancées. La machine est conçue pour évacuer les résidus solides, tels que les particules, les métaux, etc. avec une variété de solutions de nettoyage. Il offre également des capacités de séchage avancées, permettant l'élimination rapide et uniforme des résidus liquides. Ceci garantit une performance optimale du substrat et la qualité du produit. MATÉRIAUX AMAT/APPLIQUÉS Centura DPS Metal est équipé d'un Wafer Handler automatisé qui permet le chargement et le déchargement de quatre wafers au maximum. Cet outil peut fournir la connectivité aux fixations de charge supérieure et inférieure pour permettre un meilleur flux de travail. L'actif est également conçu pour réduire la pollution en minimisant la génération de brumes et de vapeurs. De plus, le modèle est conçu pour réduire le risque de contamination lors du traitement en utilisant des composants encapsulés et des matériaux résistants à la corrosion. AMAT Centura DPS Metal est conçu pour améliorer la précision et la répétabilité des processus à faible coût. Ses performances élevées et ses caractéristiques supérieures en font un choix fiable et rentable pour l'industrie des semi-conducteurs et de la microélectronique.
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