Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS2 G5 #9286831 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS2 G5 est un équipement de gravure/cendres de pointe utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs de pointe. Il est conçu pour graver ou cendre des structures diélectriques et conductrices dans des plaquettes de silicium de taille allant jusqu'à 300mm. Le système dispose d'une puissante unité de support de plaquettes qui utilise un mécanisme de serrage électrostatique pour s'assurer que les plaquettes restent bien positionnées tout au long du processus. On évite ainsi l'introduction de particules ou de contaminants sur les surfaces gravées ou cendrées. AMAT Centura DPS2 G5 dispose également d'un ensemble puissant de chambres de procédés, dont la chambre principale, la chambre d'isolement, les canaux de scène et la chambre de propulsion. La chambre principale est l'endroit où la gravure ou les cendres ont lieu et dispose d'une puissante source de plasma à résonance cyclotron électronique (ECR) qui est efficace, fiable et a une longue durée de vie. La chambre d'isolement permet des procédés sélectifs et est équipée d'une machine d'injection de gaz qui assure un dépôt uniforme de matière sur les couches diélectriques. Les canaux d'étage assurent un raccordement sûr et direct de la station de charge à la chambre principale et à la chambre d'isolement. L'outil dispose également d'un certain nombre de capacités avancées de contrôle du processus, y compris la surveillance du temps du processus, le contrôle de la température jusqu'à 1000 ° C, la capacité de recette multiple, et le contrôle du plasma, y compris la puissance et le débit de gaz. En outre, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS2 G5 est capable de graver ou d'aspirer avec une variété de produits chimiques de procédé, y compris la chimie du fluor et la chimie des métaux, permettant une flexibilité accrue du procédé. Centura DPS2 G5 est un actif de gravure/cendres puissant et précis, idéal pour toute installation avancée de fabrication de semi-conducteurs. Ses capacités avancées de contrôle des processus, son puissant modèle de support de plaquettes et sa capacité supérieure de gravure/cendres constituent un outil fiable et efficace pour la fabrication des appareils.