Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS2 #9384037 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS2 est un graveur/asher plasma de haute précision pour les applications d'affichage à semi-conducteur et à panneau plat. Le graveur utilise des sources de plasma de forte puissance et une plaque diélectrique brevetée pour obtenir des résultats de gravure et d'ashing extrêmement précis. Les résultats sont très reproductibles, avec une variation maximale de 5 % du taux de gravure d'une plaquette à l'autre. AMAT Centura DPS2 est bien adapté à une large gamme d'applications IC et FPD, telles que la création de canaux, de contacts et de boîtiers. Les résultats précis et reproductibles de l'etcher le rendent idéal pour des structures délicates. La taille maximale de la plaquette pour le DPS2 est de 200mm, et la taille de la chambre peut contenir jusqu'à douze substrats. Le DPS2 offre plusieurs fonctionnalités pour assurer une gravure et une cendre précises. L'graveur est équipé de sources de plasma à couplage capacitif et à couplage inductif haute fréquence, permettant une large gamme de densités plasmatiques et de taux de gravure. La plaque diélectrique brevetée est utilisée pour protéger le plasma des parois de l'graveur, assurant une gravure uniforme à travers la plaquette. De plus, la conception unique de la plaque empêche les pulvérisations diélectriques qui, autrement, causeraient la contamination de la plaquette. Le DPS2 assure également le contrôle de la température et l'uniformité tout au long du processus de gravure. La température du graveur peut être réglée jusqu'à 600 ° C, ce qui permet des opérations de recuit et d'oxydation précises. Le système dispose également d'un système de refroidissement de recirculation compact, qui maintient la température dans l'ensemble de l'etcher uniforme et dans la plage de réglage de la cible. Le DPS2 apporte des avantages supplémentaires grâce à des capacités d'automatisation intégrées. En plus de définir et de surveiller le processus de gravure, le logiciel inclus fournit un développement de recette défini par l'utilisateur, basé sur des paramètres et le suivi de processus en temps réel. Le logiciel permet d'ajouter facilement des étapes de processus et des recettes personnalisées, permettant une gravure efficace et précise. Dans l'ensemble, MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DPS2 est un graveur et asher de haute précision conçu pour les applications avancées de semi-conducteurs et FPD. Sa combinaison unique de caractéristiques, y compris deux sources de plasma, plaque diélectrique, régulation de température, uniformité, et les capacités d'automatisation, en font la solution de gravure idéale pour une large gamme d'appareils.