Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DT Hart #293624197 à vendre en France
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ID: 293624197
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2002
Oxide etcher, 12"
EFEM
TM Module
(3) DT Hart
AC Rack
Chiller
2002 vintage.
AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DT Hart est un graveur/asher avancé. Cet outil avancé dispose de puissantes capacités pour graver et asher les plaquettes dans un processus fiable, répétable et cohérent. Il supporte une large gamme de produits chimiques et d'applications de gravure, avec un excellent contrôle de la température, une précision de procédé et des coûts d'exploitation faibles. AMAT Centura DT Hart dispose d'une chambre de gravure industrielle de quartz de 6 pouces avec un mélange de peroxyde d'hydrogène et de gaz d'argon, qui offre une excellente uniformité de gravure et des opérations fiables. De plus, un contrôleur logique programmable numérique est utilisé pour contrôler avec précision les paramètres du processus, y compris la température et la pression de la chambre. De plus, l'outil est conçu autour d'un équipement de chauffage à trois zones efficace qui réduit le temps de chauffage et le coût associé au cyclage de la température. Ce système simplifie également le processus de cueillette/gravure en permettant un contrôle précis de la température tant pour la gravure que pour la cueillette des plaquettes. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Centura DT Hart est un outil très efficace, rentable et adapté aux applications commerciales et de R&D. Il dispose d'une puissante unité de contrôle automatisé des processus qui est capable de fournir des plaquettes de haute qualité avec des niveaux de défauts faibles. La machine assure également un contrôle fiable des processus, avec des résultats de gravure reproductibles et cohérents. En outre, l'outil est équipé d'un ensemble complet de composants analytiques, tels que la spectrométrie de masse multi-modes, la microextraction en phase solide et le contrôle automatisé du flux de particules, permettant une mesure précise et précise des produits chimiques de gravure, des conditions de chambre et de la qualité des plaquettes. Dans l'ensemble, Centura DT Hart est un outil polyvalent qui fournit des cendres et gravures efficaces et fiables pour une variété d'applications. Avec son contrôle de température avancé et sa précision de procédé, il est parfait pour les applications de R&D et de production commerciale.
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