Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5 #293617885 à vendre en France

AMAT/MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le catalyseur Centura E5 est un graveur/asher avancé qui est utilisé dans les procédés de fabrication et d'emballage des semi-conducteurs. Il est capable d'une gravure à haut débit et très fiable d'un ensemble de matériaux. Il comprend un certain nombre de fonctionnalités intégrées qui sont conçues pour maximiser la productivité et réduire les coûts. Au cœur, AMAT Centura Facilitler E5 est un graveur/asher à chambre de 300mm entièrement automatisé, utilisant le propre système de contrôle CMx d'AMAT. La chambre peut être utilisée à la fois pour la gravure humide et la gravure par plasma, ce qui la rend idéale pour une gamme de mesures avancées de la construction de l'appareil et pour l'emballage de l'appareil qui nécessite à la fois des techniques humides et sèches. Il est capable de graver du silicium, de l'arséniure de gallium (GaAs) et d'autres matériaux jusqu'à une profondeur de 250m en un seul passage. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le catalyseur Centura E5 supporte également diverses chimies de gravure, notamment l'acide fluorhydrique (HF), le bicarbonate d'ammonium (NH4HCO3), l'hydroxyde de tétraméthylammonium (TMAH), l'acide phosphorique (H3PO4), l'acide sulfurique (H2SO4) et l'acide nitrique (H3 De plus, le système est également capable de réaliser des recettes de gravure multi-étapes à l'aide de deux voies de plaquettes, permettant une gravure parallèle de plusieurs plaquettes en même temps. La chambre comporte également des dispositifs de sécurité intégrés tels qu'un arrêt automatique lorsque les niveaux de dioxyde de chlore ou de dioxyde d'azote dépassent un seuil prédéterminé. Il est capable de fonctionner à des températures allant jusqu'à 150 ° C De plus, la chambre a été conçue pour minimiser le risque de contamination par des particules de plaquettes latérales. Dans l'ensemble, Centura Facilitler E5 est un graveur/asher avancé qui est conçu pour la gravure à haut débit et fiable d'une variété de matériaux. Il est capable de graver jusqu'à une profondeur de 250 m en une seule passe et pour une variété de chimies de gravure. En outre, le système dispose d'un certain nombre de caractéristiques conçues pour assurer la sécurité, y compris un arrêt automatique lorsque les niveaux de gaz dépassent un seuil prédéfini, et il est capable de fonctionner à des températures allant jusqu'à 150 °.