Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293615044 à vendre en France
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ID: 293615044
Style Vintage: 2008
System
AC Rack
Monitor
Missing robots
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Leverler est un réacteur de traitement très avancé conçu pour permettre une production efficace et rentable de dispositifs intégrés (IDM). Il s'agit d'un système multi-chambres optimisé pour fournir un débit et un volume de substrat élevés, tout en réduisant significativement les niveaux de dommages plasmatiques. Le réacteur est conçu pour soutenir une variété de technologies de procédé, y compris l'oxydation thermique, le dépôt de nitrures, le dépôt diélectrique bas k, et la gravure de photomasques. Il se compose de trois composants principaux : la chambre principale, la serrure de charge et la chambre de transfert. La chambre principale est équipée de générateurs radiofréquence (RF) de précision qui, couplés à des champs magnétiques alternatifs, permettent un contrôle et une uniformité de processus supérieurs. AMAT Centura est capable de fonctionner sous une large gamme de pressions, de 0,02 Torr à 760 Torr. En outre, il dispose de plusieurs étages de refroidissement et de chauffage de substrat pour permettre le recuit thermique et les processus de refroidissement. Ceci permet des processus thermiques plus rapides et maximise l'uniformité des films déposés en fournissant une température contrôlée. La serrure de charge intégrée pour les matériaux appliqués Centura facilitateur permet de manipuler de plus grandes plaquettes et est refroidi par une technologie à doigts froids à enveloppe d'hélium. On obtient ainsi un débit plus rapide et une uniformité améliorée du substrat. L'isolation environnementale de la serrure de charge assure également un fonctionnement efficace et assure que les substrats sans contamination sont chargés dans le catalyseur Centura. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Facilitler dispose également d'une chambre de transfert sophistiquée. Cette chambre permet une manipulation précise du substrat et est actionnée par un robot à trois axes. De plus, la chambre de transfert est isolée de la chambre principale, offrant ainsi un contrôle supérieur de la contamination et une répétabilité du procédé. Dans l'ensemble, AMAT Centura Facilitler est un réacteur puissant qui fournit une production IDM de haute qualité à un coût considérablement réduit. Équipé d'une gamme de technologies de pointe, il offre des performances, une productivité et une uniformité supérieures. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le catalyseur Centura est un outil puissant qui est idéal pour la production IDM.
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