Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for Centura #9411364 à vendre en France

AMAT APPLIED MATERIALS Centura Chamber est un équipement de gravure/cendres en deux étapes conçu pour fournir des performances maximales pour le traitement des gravures et des cendres dans les applications semi-conductrices et MEMS. Ce système est conçu pour répondre aux exigences les plus exigeantes en matière de gravure et de cendres avec d'excellents rapports gravure-cendres, une fiabilité à long terme et un débit élevé. La chambre est conçue pour la précision de la gravure et du contrôle des cendres, l'optimisation du débit et le contrôle de l'effet final des plaquettes. La première partie de l'unité est la chambre de gravure, où le plasma est produit pour obtenir un procédé de gravure à haut débit et reproductible. Pour obtenir la plus grande sélectivité et rendement, la surveillance et le contrôle précis du processus de gravure sont activés par le contrôleur de processus intégré. Le processus de gravure est alimenté par une source indépendante qui fournit des performances de gravure optimales dans toutes les conditions du processus. La deuxième partie de la machine est la chambre à cendres, qui permet un processus de cendres de haute précision, avec des dommages au dos minimes et un épuisement minimal des cendres. Le contrôleur de cendres fournit des performances uniformes dans les environnements manuel et automatisé. Pour une flexibilité maximale, l'outil Centura peut être configuré en chambre simple ou double. L'actif à double chambre comprend la chambre de procédé à gravure pure et la chambre de procédé à cendres. Ce modèle permet la gravure et le traitement des cendres dos à dos, ce qui permet d'augmenter le débit des plaquettes. Cet équipement dispose de fonctionnalités avancées telles que l'automate, les plénums contrôlés en température, la tête de douche multi-canaux avec gaz porteur purifié et le contrôle automatique de la température du substrat. Ces fonctionnalités permettent un contrôle serré des processus et aident à assurer des processus reproductibles et reproductibles. La Chambre Centura est conçue aux processus conciliants SEMI-S2 et a le contrôle serré sur la pression de chambre, la température, le flux électronique et d'autres facteurs de processus. Le système dispose également de dispositifs de sécurité avancés et est conçu pour être opérationnel et respectueux de l'environnement. Une large gamme de composants permet la flexibilité et la compatibilité avec une variété de mises à niveau configurables. Ils comprennent les modules de verrouillage et de transfert de charge, la robotique, les générateurs RF, les pompes à vide turbomoléculaires et la purification des gaz de procédé. La chambre Centura est une unité avancée de gravure/cendres qui fournit des procédés de gravure et de cendres de haute précision, reproductibles et reproductibles dans une seule chambre ou une double chambre. Conçue pour une flexibilité maximale du procédé, cette machine permet un contrôle serré des paramètres de gravure et des cendres, assurant un contrôle de la pression, de la température et des processus sans dérive.