Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS 532 #293821494 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS L'équipement DPS 532 etcher/asher est un outil utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour la gravure et l'ashing de structures diélectriques utilisées dans la fabrication de films ultra-minces. Il est conçu pour être utilisé dans la fabrication de films ultra-minces tels que les diélectriques triples, les portes métalliques, la métallisation de cuivre double damascène et les procédés de double damascène à haut rapport d'aspect. Le système utilise un certain nombre de technologies, y compris la gravure par voie humide de composés organiques volatils (COV), la gravure par voie sèche à ultra-vide (UHV-Dry) pour exécuter ses processus uniques. AMAT DPS 532 est une unité de gravure avancée à flux variable qui comprend des sources de plasma avancées qui peuvent fournir une uniformité de gravure et un taux de gravure supérieurs. La machine dispose également d'un outil de surveillance en ligne, permettant une adaptation rapide et un contrôle en temps réel du processus de gravure. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le DPS 532 utilise une variété de gaz de gravure, y compris les gaz NF3, CF4, O2, SF6, CHF3, C2F6, H2 et Ar, ainsi que d'autres gaz pour obtenir des performances de gravure optimales. L'actif comprend également un modèle avancé de gravure à distance, qui permet le contrôle des processus et le développement et la manipulation rapide des recettes. La technologie de gravure sous vide élevé et surveillée intégrée dans le DPS 532 lui permet d'obtenir des caractéristiques de haute résolution, un contrôle amélioré de la dimension critique (CD), une réduction du micropipage et des rapports d'aspect élevés pour les films ultra-minces. Plusieurs modules peuvent être intégrés dans le module permettant une variété de capacités de processus telles que le remplissage des lacunes, la passivation des défauts, les processus de fixation critiques et la gravure des portes métalliques. AMAT/APPLIED MATERIALS L'équipement DPS 532 est conçu pour être intégré dans les lignes de fabrication existantes. Il intègre des contrôleurs logiques programmables (PLC) et des asservissements communs qui assurent une intégration facile dans les processus d'automatisation existants et réduisent le temps d'installation lors de la mise en œuvre du système dans une ligne de production. AMAT DPS 532 utilise un montage sans électricité pour monter les plaquettes, de sorte que l'unité ne nécessite pas d'intervention manuelle supplémentaire que d'autres systèmes. La machine fournit également un outil de détection au niveau de la plaquette pour éviter les dommages dus au chargement ou à la manipulation incorrecte de la plaquette. MATÉRIAUX APPLIQUÉS L'actif graveur/asher DPS 532 est un outil avancé utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour créer des films ultra minces avec un contrôle de gravure précis. Le modèle utilise un certain nombre de technologies, dont le COV-RIE, la gravure humide et les techniques de gravure à sec UHV pour atteindre ses processus uniques. Il est équipé d'un équipement de surveillance et de contrôleurs logiques programmables, ce qui lui permet d'être intégré dans les lignes de production de gravure et d'ashing existantes. La gravure sèche sous vide élevé et surveillée couplée au système de détection au niveau de la plaquette lui permet d'obtenir une uniformité de gravure supérieure et un taux de gravure avec un micropipage réduit et des rapports d'aspect élevés avec un contrôle CD amélioré.