Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS 532 #9044038 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS 532 est un équipement de graveur/asher qui utilise un plasma atmosphérique à basse pression pour déposer des couches chimiques ou graver des surfaces de semi-conducteurs et d'autres matériaux. La conception du système au niveau de la production et la technologie de pointe en font un outil facile à utiliser et fiable pour de nombreuses applications. L'unité AMAT DPS 532 s'appuie sur un contrôleur numérique, configurable et riche en fonctionnalités pour réaliser des recettes de gravure et de dépôt. Les composants internes utilisent une combinaison de dépôt chimique en phase vapeur induit par le plasma (PICVD) et de plasma couplé capacitivement à basse pression (LPCP) pour initialiser le processus. Les recettes hautement personnalisables et les paramètres de séquençage permettent un grand contrôle sur le dépôt et la gravure. Divers gaz, dont O2, Argon, H2, SiH2Cl2, CF4 et NF3, sont utilisés pour améliorer les taux et les procédés de gravure et de dépôt. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le DPS 532 est capable de produire des taux de gravure et des dépôts uniformes de métaux, polymères et diélectriques dans un large éventail de matériaux avec facilité. Sa grande chambre de procédé (10,2 "de diamètre) assure une uniformité sur de larges surfaces. En outre, la machine est équipée de capacités avancées de surveillance des processus, y compris un pyromètre à grande vitesse pour mesurer les taux de gravure. Ces contrôles et mesures des performances assurent des résultats uniformes et une uniformité sur le plateau. En outre, le processus de gravure LPCP dans DPS 532 est très compatible avec les caractéristiques de gravure haute densité. L'outil utilise également une série d'outils d'acquisition et d'analyse de données en ligne pour surveiller les taux de gravure et de dépôt en temps réel, en veillant à la cohérence partielle et au contrôle de la qualité. AMAT/APPLIED MATERIALS La précision, la répétabilité et la flexibilité du DPS 532 le rendent parfait pour les besoins d'ingénierie de production et de développement. L'actif est alimenté par une alimentation triphasée 480V et a une plage de température de fonctionnement de 10-40 ° C En résumé, AMAT DPS 532 est un modèle de graveur/asher extrêmement fiable, combinant des techniques avancées d'ionisation de gaine PICVD, LPCP et RF pour des performances précises et fiables. Sa grande chambre de travail, associée aux capacités de contrôle et de surveillance des processus, en font un outil inestimable pour graver et déposer les matériaux rapidement et régulièrement.