Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS DPS G5 Mesa #293762399 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5 Mesa etcher/asher est un équipement à double plasma de pointe conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Cet outil de pointe intègre de multiples capacités de gravure et d'ashing dans une plateforme unique, offrant une flexibilité et une efficacité de processus supérieures pour des environnements de production à haut volume. Une des caractéristiques clés de l'AMAT DPS G5 Mesa est sa conception de source de plasma double, qui permet le fonctionnement simultané de deux processus de plasma distincts dans la même chambre. Cela permet une commutation transparente entre les processus de gravure et de cendrage sans nécessité de reconfiguration de la chambre, ce qui réduit les temps d'arrêt et augmente le débit. Les sources de plasma haute densité du système offrent des performances de processus précises et uniformes, permettant un contrôle précis des paramètres critiques de gravure et d'ashing tels que la sélectivité, l'uniformité et la vitesse de gravure. Ce niveau de contrôle est essentiel pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés avec des structures de plus en plus complexes et des caractéristiques plus petites. MATÉRIAUX APPLIQUÉS Le DPS G5 Mesa présente un design de chambre hautement configurable, permettant une personnalisation adaptée à un large éventail d'exigences de processus et de tailles de substrat. L'unité est compatible avec divers gaz de procédé, y compris les produits chimiques à base de fluor pour la gravure à sec et les produits chimiques à base d'oxygène pour l'ashing, offrant une flexibilité pour répondre à divers besoins d'application. L'outil est équipé de capacités avancées de surveillance et de contrôle des processus, y compris des systèmes de détection en temps réel et des diagnostics plasma avancés. Ces caractéristiques permettent un contrôle précis des paramètres du processus et garantissent des performances de processus cohérentes, ce qui donne des résultats de gravure et d'ashing de haute qualité avec une variabilité minimale. DPS G5 Mesa est conçu avec la productivité en tête, avec des capacités de manutention automatisée des plaquettes et des contrôles logiciels avancés pour la gestion des recettes et l'optimisation des processus. Ces fonctionnalités d'automatisation rationalisent le fonctionnement et minimisent les erreurs humaines, améliorant l'efficacité et le rendement global du processus. En termes de sécurité et de fiabilité, la machine est équipée de dispositifs de sécurité avancés et de protocoles pour assurer la protection de l'opérateur et prévenir les dommages à l'équipement. L'outil dispose également de capacités d'autodiagnostic intégrées pour faciliter la maintenance et le dépannage, réduire les temps d'arrêt et assurer un temps de disponibilité maximal. Dans l'ensemble, AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5 Mesa etcher/asher est un outil de pointe conçu pour répondre aux exigences exigeantes de la fabrication de semi-conducteurs. Grâce à sa conception avancée de sources à double plasma, à un contrôle supérieur des processus et à des caractéristiques de productivité élevées, cet outil offre aux fabricants un avantage concurrentiel dans la production de dispositifs semi-conducteurs de pointe avec des rendements élevés et une qualité exceptionnelle.